판매용 중고 KLA / TENCOR HRP 260 #293628462

KLA/TENCOR HRP 260은 광학 도량형 및 이미지 분석을 사용하여 반도체 웨이퍼의 웨이퍼 형상, 웨이퍼 두께 및 표면 지형을 정확하고 정확하게 측정하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 측정 헤드, 광학 정렬 테스트 도구 (Optically Aligned Test Tool) 및 통합 열 영역 격리가있는 자동 XY 모터 스테이지 (Automated XY motor stage) 를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 이러한 구성요소는 뛰어난 정확성과 반복성으로 장치의 특성을 측정하기 위해 함께 작동합니다. 장치의 핵심은 특수 RGB 조명, 여러 목표 및 여러 동작 축을 결합한 통합 Optically Aligned Test Tool에 있습니다. 테스트 도구 (Test Tool) 를 사용하면 웨이퍼 서피스 토폴로지, 웨이퍼 두께, 웨이퍼 평면도, 웨이퍼 수준, 웨이퍼 중심 위치 및 장치 수준 평탄도를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 테스트 도구 (Test Tool) 는 직경 200mm에서 300mm 사이의 다양한 웨이퍼를 측정 할 수 있으며, 단일 웨이퍼에서 최대 200 개의 기능을 자동으로 측정 할 수 있습니다. Optically Aligned Test Tool 외에도 KLA HRP 260에는 열 영역 격리가 내장 된 자동 XY 모터 스테이지가 포함되어 있습니다. 이 단계는 테스트 도구 (Test Tool) 의 동작 축을 지원하고 열 드리프트 및 진동으로부터 보호하도록 설계되었습니다. TENCOR HRP 260은 포괄적인 측정 기능을 제공합니다. 오픈 루프 (open-loop) 및 클로즈드 루프 (closed-loop) 자동 측정을 지원하며, 각 웨이퍼의 서피스 토폴로지, 중심 오프셋 및 평탄도를 동시에 측정할 수 있습니다. 전통적인 광학 기술과 레이저 (laser) 기반 기술을 결합함으로써, 기계는 최대 정확도와 정밀도를 제공 할 수 있습니다. 이 툴은 수집된 모든 데이터를 실시간으로 수집하고 저장한 다음 온보드 처리 장치 (Onboard Processing Unit) 로 전달하는 실시간 데이터 수집 모듈 (Real-Time Data Collection Module) 을 갖추고 있습니다. 이 단위는 데이터를 분석하고, 규정 준수 보장 및 문제 파악에 사용되는 다양한 보고서 (Report) 를 생성하는 역할을 합니다. 또한 HRP 260 은 단순한 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 측정 결과에 쉽게 액세스할 수 있고, 자산 성능을 빠르고 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, KLA/TENCOR HRP 260은 광학 도량형 및 이미지 분석 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼의 특성을 측정 할 때 정확성과 정밀도를 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 이 장비는 오픈 루프 (open-loop) 및 클로즈드 루프 (closed-loop) 자동 측정을 지원하며, 데이터를 실시간으로 수집하며, 여러 가지 유형의 보고서를 생성하여 규정 준수 및 성능 모니터링을 지원합니다.