판매용 중고 KLA / TENCOR FX 200 #9353225

KLA/TENCOR FX 200은 웨이퍼 테스트 및 도량형에 중점을 둔 장비입니다. 광범위한 통합 표면 분석 (Integrated Surface Analysical) 기술을 결합하여 웨이퍼 레벨 어플리케이션을 위한 높은 처리량과 안정적인 도량형을 제공합니다. 견고하고 안정적인 설계를 통해 높은 처리량을 보장하고, 웨이퍼 테스트와 검사의 효율성을 높일 수 있습니다. KLA FX 200 시스템에는 3 가지 주요 구성 요소 인 2 개의 보완 통합 표면 분석 기술 (원자력 현미경 및 타원법) 과 특허를받은 3D 이미징 장치가 있습니다. 또한 고급 스캐닝 기술 (Scanning Technology) 과 반도체 산업의 변화하는 요구를 충족시키기 위해 지속적으로 성장하는 사용자 프로그래밍 가능한 도량형 라이브러리 (Library of user programmable metrology metrology method) 도 포함됩니다. 광학 탐지 기능은 가장 진보된 기능 중 하나입니다. TENCOR FX200 기계는 웨이퍼 기판의 하향식 및 측면 보기 이미지를 모두 캡처 할 수 있습니다. 특수 이미징 (Specialized Imaging) 모드는 안정적인 정확도로 정밀 측정을 보장합니다. 대용량 작업의 성공에 필수적입니다. 타원체계 (ellipsometry) 모듈은 가능한 가장 정확한 반사도 값을 얻을 수 있도록 뛰어난 성능을 제공하며, 이 도구를 통해 여러 유형의 재료를 사용하여 레이어를 빠르게 측정할 수 있습니다. 원자력 현미경 모듈은 웨이퍼 생산 중 표면 거칠음을 효과적으로 측정하는 데 사용됩니다. 고급 교정 방법은 매우 정확한 3D 서피스 프로파일을 제공하며, 이는 부드러운 표면을 보장하는 데 필수적입니다. 자산의 강력한 데이터 분석 툴을 통해 스캔된 데이터를 효율적으로 평가할 수 있습니다. 이러한 도구는 서피스 특성을 빠르게 파악할 수 있는 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공합니다. 또한 TENCOR FX 200 모델은 수동 (manual) 및 자동 (automated) 작업을 모두 지원하므로 필요에 따라 두 가지 처리 모드를 전환할 수 있습니다. 결론적으로, KLA FX200은 매우 정확한 측정 기능을 제공하는 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 제품은 자동화를 위해 설계되었으므로, 신뢰성과 정확성이 높아진 대용량 (high-volume) 생산 설정에 사용될 수 있습니다. 최첨단 기술과 강력한 데이터 분석 툴을 통해 계산된 결과를 안정적이고 정확하게 확인할 수 있습니다 (영문).