판매용 중고 KLA / TENCOR FX 100 #9240150

KLA/TENCOR FX 100은 반도체 재료를 정확하게 측정하도록 설계된 최고의 라인 도량형 및 웨이퍼 테스트 장비입니다. 이 시스템은 고급 기술을 제공하여 웨이퍼 테스트 및 도량형에 가장 정확한 결과를 제공합니다. KLA FX 100에는 반도체 웨이퍼의 특성을 정확하게 측정하는 고해상도 이미징 센서 장치가 있습니다. 이 기계는 재료 피쳐를 하위 미크론 크기로 측정 할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 고해상도 이미징 에셋이 장착되어 있어 웨이퍼의 정확한 3 차원 뷰를 만들 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 CD (Critical Dimension) 를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 모델은 또한 고속, 다중 축 단계를 사용하여 전체 웨이퍼 테스트 영역을 정확하게 이미지화합니다. 비접촉 도량형의 경우, 장비에는 강력한 비접촉 도량형 모듈이 장착되어 있으며, 이 모듈은 지형 (surface topography) 및 웨이퍼 (wafer) 의 결함 피쳐를 측정 할 수 있습니다. 비접촉 도량형 모듈은 구덩이, 전위, 스텝 컷, 동굴 (cavity) 등 다양한 결함 유형을 식별할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 고도로 향상된 웨이퍼 검증 장치 (Wafer Verification Unit) 를 제공하여 웨이퍼 테스트 결과의 정확성과 신뢰성을 보장합니다. 웨이퍼 검증 머신 (wafer verification machine) 은 웨이퍼에 대한 종합적인 전기 및 기계 테스트 제품군을 수행 할 수 있습니다. 이러한 테스트에는 반도체 장치 특성, 전기 매개 변수 테스트 및 다양한 무결성 테스트가 포함됩니다. 이 툴은 테스트 전에도 wafer 의 무결성을 확인할 수 있습니다. 또한 TENCOR FX 100에는 자동 웨이퍼 처리 에셋이 있어 웨이퍼 테스트의 속도와 정확성을 제공합니다. 이 모델은 웨이퍼를 빠르고 안정적으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 또한, 장비에는 최대 50 개의 레시피를 저장할 수있는 자동 레시피 시스템 (automated recipe system) 이 있으며, 이를 통해 운영자는 다양한 테스트 매개변수 조합을 탐색 할 수 있습니다. 사용자 편의를 강화하기 위해 FX 100 장치에는 Windows 기반 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 도 있습니다. 따라서 직관적인 인터페이스 (interface) 를 사용하여 컴퓨터의 다양한 테스트 작업을 신속하게 액세스하고 제어할 수 있습니다. 또한, GUI 는 자동화된 데이터 분석 툴을 제공하여 테스트 결과를 빠르고 정확하게 평가할 수 있습니다. KLA/TENCOR FX 100은 업계 최고의 웨이퍼 테스트/도량형 툴로서, 가장 정확하고 정확한 결과를 보장하는 혁신적인 기술과 고급 기능을 제공합니다. 고해상도 이미징 에셋, 비접촉 도량형 모듈, 웨이퍼 검증, 자동 웨이퍼 처리, 자동 레시피 모델로, 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 안정적이고 강력한 장비입니다.