판매용 중고 KLA / TENCOR FT-750 #9173658

KLA/TENCOR FT-750은 차세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 소자 제조에서 지속적으로 증가하는 처리량 및 정확도 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 고급 옵틱 (optic), 모션 제어 (motion control), 데이터 수집 (data collection) 및 분석 (analysis) 기능을 갖추고 있으며 모두 고급 시스템 아키텍처에 의해 모니터링 및 제어됩니다. 이 장치는 강력한 이미징 엔진을 사용하여 탁월한 선명도와 해상도로 서브 미크론 (sub-micron) 이미지를 생성합니다. 이미징 엔진은 고해상도 디지털 CCD 카메라, AutofocusTM 렌즈 및 조명을위한 향상된 LED 광원으로 구성됩니다. 향상된 이미징 머신은 이미징 기능을 이전 모델의 최대 16 배 해상도로 구현합니다. KLA FT-750 은 광범위한 중요한 디바이스 특성을 정확하게 측정하는 혁신적인 광학 도량형 툴을 자랑합니다. 통합 도량형 자산은 3 차원 포인트 스캐닝과 결합 된 밝은 필드 및 다크 필드 이미징 시스템을 사용하여 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.2 미크론 (micron) 의 작은 기능을 측정합니다. TENCOR FT 750의 이미징 및 도량형 기능은 강력한 모션 제어 모델에 의해 보완됩니다. 이 장비는 웨이퍼 위치의 추가 정밀도를 위해 3 개의 작동 단계로 구성됩니다. 또한, 이미지의 정확한 측정 등록을 위해 정교한 비전 기반 정렬 시스템이 사용됩니다. FT 750 장치의 내부 데이터 수집 및 분석 (analysis) 기능은 정교한 알고리즘을 사용하여 결함 위치, 크기, 모양을 특성화합니다. 이러한 알고리즘은 강력한 데이터베이스 도구, 자동 결함 분류 (Automated Defect Classification) 와 결합하여 테스트 결과를 효율적으로 분석, 보고합니다. 이 기계는 다른 반도체 테스트 (semiconductor test) 및 도량형 장비와의 통합을 위해 설계되었으며, 효율적인 데이터 전송 및 보고 기능을 제공합니다. 또한 TENCOR FT-750 은 Off-the-shelf 소프트웨어 툴을 활용하여 테스트 결과 및 기타 분석 작업의 보고를 지원합니다. 전체 FT-750은 혁신적인 기능을 갖춘 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 강력한 이미징, 도량형, 모션 제어 및 데이터 수집/분석 기능은 매우 정확하고 안정적인 웨이퍼 특성을 제공합니다. 이 자산은 차세대 반도체 웨이퍼 (wafer) 제작의 까다로운 요구 사항을 충족하는 기능을 제공할 수 있습니다.