판매용 중고 KLA / TENCOR FT-750 #293754146
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KLA/TENCOR FT-750은 반도체 프로세스 검사 및 제어를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 고해상도 디지털 카메라가 장착되어 있어, 이미지 당 2 메가 픽셀 이상의 해상도로 프로세스 크리티컬 이미지를 캡처할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 수평 및 수직 방향으로 정확한 측정을 보장하기 위해 서보 제어 X 및 Y 축이 장착 된 정밀 광학 단계가 있습니다. 이것은 매우 신뢰할 수있는 레이저 빔 기반 두께 및 필름 균일 성 검출기와 결합하여 최고 수준의 정확도 (Precision and Accurity) 를 제공합니다. KLA FT-750은 임계 치수, 두께, 테이퍼, 오버레이 및 기타 웨이퍼 관련 사양을 포함하여 상용 웨이퍼의 광범위한 매개변수를 빠르고 정확하게 측정하도록 최적화되었습니다. 여기에는 이미지 캡처, 이미지 분석, 패턴 인식, 측정 데이터 캡처, 보고, 로깅 등 다양한 소프트웨어 기능이 포함됩니다. 이 도구에는 Fab 호스트 (Fab Host) 에 대한 직접 자동 인터페이스가 장착되어 있어 기록을 처리하는 데 가장 높은 수준의 추적 기능을 제공합니다. 이를 통해 운영자는 웨이퍼 (wafer) 프로세스를 빠르고 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있으므로 빠른 응답 시간 (response time) 을 통해 변경 또는 비정상을 처리할 수 있습니다. 또한 TENCOR FT 750 (TENCOR FT 750) 은 환경 테스트 기능을 위해 설계되어 높은 온도, 습도 극한의 조건에서 작동 할 수 있습니다. 자산의 자가 진단 (self-diagnostics) 기능을 통해 자산이 항상 완벽하게 작동하고 사용할 수 있습니다. FT-750은 반도체 제조업체에 필수적인 장비로, 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 도량형 기능을 제공합니다. 중요한 프로세스 측정과 관련된 시간과 비용을 대폭 절감하여 품질 (Quality) 과 처리량 (Throughput) 을 높일 수 있습니다.
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