판매용 중고 KLA / TENCOR FT-600 #9376730

KLA/TENCOR FT-600 (KLA/TENCOR FT-600) 은 고급 반도체 장치의 측정에서 최적의 안정성과 정확성을 제공하도록 설계된 완전 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최신 고해상도 이미징 및 코팅 기술인 KLA FT-600 은 다양한 도량형 (metrology) 목표를 달성하는 탁월한 성능을 제공합니다. 이 시스템은 도량형 및 전기 및 광학 측정을 수행하는 IS (Integrated Subsystem) 와 테스트 및 도량형에 필요한 고급 코팅 기능을 제공하는 ACS (Automated Coating Subsystem) 의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. IS 모듈에는 최대 300mm 크기의 고해상도 웨이퍼 이미지를 생성하는 40nm 해상도 이미징 모듈이 포함되어 있습니다. 고급 알고리즘은 이러한 이미지를 분석하여 수직 치수 프로파일 (vertical dimensional profile), 서피스 거칠기 (surface roughness), 결함 크기 (defect size) 및 수량 (quantity) 과 같은 중요한 매개변수를 측정하는 데 사용됩니다. 또한 전기 및 광학 서브 모듈이 포함되어 있으며, 여기에는 오믹 접촉 저항, 다이오드 및 MOSFET 매개변수 프로파일, 트랜스 컨덕턴스 및 기타 장치 매개변수 값과 같은 전기 매개 변수를 측정 할 수 있습니다. 이 하위 모듈에는 스펙트럼 반사율 (Spectral Reflectance) 및 투과율 (Transmittance) 과 같은 광학 특성을 측정하기위한 스펙트럼 반응 측정 기계도 포함되어 있습니다. ACS에는 최대 300mm 샘플을 코팅하는 고급 자기 부양 모터 구동 코팅 장치가 포함되어 있습니다. 이 코팅 유닛은 포토리스 연주자 (photoresist) 및 기타 등각 코팅 (conformal coating) 과 같은 재료를 부드럽고, 균등하고, 고정밀도 높은 코팅을 제공하며, 다양한 포토 리토 그래피 및 기타 습식 화학 공정과 완벽하게 호환됩니다. 이 장치에는 최적의 코팅 성능을 보장하기 위해 통합 환경 및 진공 제어 도구 (Environmental and vacuum Control Tool) 도 장착되어 있습니다. 또한, TENCOR FT-600에는 모든 자산 구성 요소의 통합을 위한 고급 소프트웨어 제품군이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어 제품군은 프로세스 자동화, 항복 최적화, 데이터 수집 및 분석, 보고서 생성, 기타 기능을 제공합니다. FT-600 (FT-600) 은 최고의 품질 및 안정성 표준을 충족하도록 설계되었으며 다양한 도량형 (metrology) 및 프로덕션 어플리케이션에 적합합니다. 강력한 소프트웨어 제품군과 결합한 "고급 이미징 (imaging) '과" 코팅 (coating)' 성능은 반도체 업계의 까다로운 요구에 이상적인 솔루션이다.