판매용 중고 KLA / TENCOR FT-600 #9081978

KLA/TENCOR FT-600은 마이크로 일렉트로닉스 제작에 사용하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 전기적, 광학적, 화학적, 열적 특성 등 광범위한 웨이퍼 (wafer) 특성을 측정 및 분석하는 고급 기능을 제공합니다. 이 시스템은 프로세스 제어 요구 사항과 애플리케이션별 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있습니다. 이 제품은 다양한 소재에서 빠르게, 정확하고, 반복적으로 측정할 수 있는 wafer (웨이퍼) 를 구현하고, 다양한 집적 회로를 신속하게 특성화하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 나노 미터 수준의 해상도로 웨이퍼를 이미징 할 수있는 고속 나오 캠 (naoccam) 카메라가 있습니다. 이미징 머신 (Imaging Machine) 은 웨이퍼 (Wafer) 의 전기 특성을 측정하고 사양을 충족하는지 확인할 수 있습니다. 추가 광원은 테스트 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼의 광학 모니터링을 제공합니다. 여기에는 색상 교정 도구와 3 차원 결함 감지를 위한 CCD 어레이가 포함됩니다. 자산은 매우 자동화되어 있으며, 수백 개의 테스트 이미지를 정확하게 해석할 수 있으며, 사용자의 입력만 최소화하여 유용한 운영 정보 (production information) 를 제공합니다. 또한, KLA FT-600 에는 강력한 데이터 처리 모델이 포함되어 있어 단일 프로세스 스테이션에서 수행되는 여러 테스트 결과를 통합할 수 있습니다. 임피던스 및 커패시턴스 측정을 모두 활용하여 자세한 프로세스 분석을 수행 할 수 있습니다. 이 장비의 온보드 분석 소프트웨어 (On Board Analysis Software) 는 특정 마스크와 테스트 결과를 신속하게 상관 관계를 분석하여 프로세스 최적화를 용이하게합니다. 온보드 질량 분석기 (on-board mass spectrometer) 및 박막 측정을위한 적외선 온도 센서 (infrared temperature sensor) 와 같은 다양한 화학 및 열 도량형 옵션을 사용할 수 있습니다. 전반적으로, TENCOR FT-600은 전자 장치 제작에 이상적인 선택으로, 측정 결과의 정확성과 반복성이 높아집니다. 종합적인 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 기능을 제공하여 반도체, 광전자 및 광전자 제조업체가 더 효율적이고 안정적인 제품을 만들 수 있도록 지원합니다.