판매용 중고 KLA / TENCOR FT-500 #9214047

KLA/TENCOR FT-500은 인라인 결함 검토, 높은 처리량, 고해상도 이미징 등 고급 기능을 제공하는 고급 웨이퍼 검사 및 도량형 시스템입니다. 특히 KLA FT-500은 총 500 개의 웨이퍼 정렬기를 제공하여 스테이션당 시간당 최대 8 개의 웨이퍼를 허용하고 12, "8" 및 6 "웨이퍼를 수용합니다. 내장형 Optic 및 LED를 통해 이미지 해상도 (최대 1.6um) 와 최대 시야 (500mm) 를 생성할 수 있습니다. TENCOR FT-500에는 인라인 자동 결함 검토가 가능한 ADR (Automated Defect Review) 시스템이 장착되어 있으며 CD, line edge roughness 및 기타 로컬 또는 글로벌 매개변수와 같은 추론 매개변수의 시각적 표현을 제공합니다. 또한 CD 측정에 대한 다양한 광 기술을 지원하며 wafer-to-wafer M1 (레이어 또는 측정) 을 동시에 사용할 수 있습니다. FT-500은 조명 측면에서 고해상도 밝기 (brightfield), 어두운 필드 (darkfield), 백라이트 (backlighting) 및 에피 조명 (epi-illumination) 과 같은 고급 조명 옵션과 가변 웨이퍼 패턴을 캡처하는 LED 및 필터 옵션 중 하나를 사용합니다. 또한 자동 빔 프로파일러 (beam profiler) 와 스캔 매개변수 조정 (scan parameter adjustment) 기능을 통해 빔 조건을 제어하고 균일 한 스캔을 얻을 수 있습니다. 이미지 분석 및 향상과 관련하여 KLA/TENCOR FT-500에는 자동 기능 검색, 이미지 선명화, 이미지 분할, 자동 기능 분류 등의 고급 기능이 있습니다. 또한, 이미지 인식 정확도를 향상시키는 이미지 측정 도구 (예: 측정 그래픽, 도구) 도 포함되어 있습니다. 처리량 측면에서 KLA FT-500은 배치 (batch) 모드에서 실행할 때 시간당 최대 1000 개의 웨이퍼를 수행할 수 있으며, 스캔 모드에서는 시간당 최대 20 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 처리량 성능을 더욱 최적화하기 위해 자동 결함 감지 (auto-defect detection) 기능을 통해 설치 시간을 단축할 수 있습니다. 마지막으로, TENCOR FT-500에는 다양한 액세서리와 구성 요소가 포함되어 있어 편리하게 설치 및 유지 관리할 수 있습니다. 전반적으로, FT-500 검사 및 도량형 시스템은 웨이퍼 검사 및 도량형에 대한 최고 수준의 정확성과 처리량을 제공합니다. 고급 조명 (illumination), 이미지 분석 (image analysis) 및 측정 도구를 통해 생산량을 높이고 비용을 절감할 수 있습니다.