판매용 중고 KLA / TENCOR FOUP Handler for SP1 / F5X / Spectra FX #9240599

SP1/F5X/Spectra FX용 KLA/TENCOR FOUP 핸들러는 최신 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 수준의 웨이퍼, 기판 및 기타 재료에 대한 인라인 (in-line) 테스트 및 도량형을 효율적으로 수행합니다. KLA FOUP Handler는 감광 물질 및 실리콘, 액정 디스플레이 (LCD), 박막 트랜지스터 (TFT) 디스플레이 및 비휘발성 메모리 (NVM) 와 같은 기타 웨이퍼에 대한 빠르고 안정적인 분석을 위해 설계되었습니다. 반도체 제조업체의 요구에 부합하는 정밀 단계, 모션, 비전, 이미징을 갖춘, 본격적인 자동화된 소프트웨어/하드웨어 제품군입니다. SP1/F5X/Spectra FX 장치용 KLA FOUP 핸들러는 고급 독점 광학 기술을 사용하여 물리적 접촉없이 웨이퍼를 정확하게 분석하여 민감한 미디어에 대한 손상을 최소화합니다. 임베디드 옵티컬 센서는 다양한 크기와 두께의 웨이퍼를 감지하고 추적하는 한편, 열적으로 변형된 액티브 옵틱 (active optic) 을 사용하여 정밀한 각도 측정을 수행합니다. 이것은 더 높은 프레임 레이트에서 정확한 측정을 가능하게하며, 전례없는 도량형 성능을 제공합니다. TENCOR FOUP Handler는 또한 업계 표준 E10/11 또는 동등한 EN/IEC 61215를 준수하는 총 검사 솔루션을 제공합니다. 4M 픽셀 내장, 웨이퍼의 4K 해상도 이미징을 사용하면 가장자리 결함, 교량 결함, 둥근 결함, 스컴 서클, 스크래치, 범프, 공백 및 기타 오염 물질을 포함하여 빠르고 신뢰할 수있는 결함을 감지 할 수 있습니다. 이미징 머신은 또한 내장 패턴 인식 및 가드 밴드 자동 감지 (guard band auto-detection) 기능과 통합되어 회색 결함, 색상 결함, 주름 결함의 존재를 평가합니다. KLA/TENCOR FOUP Handler의 내장 신호 처리 기능은 재료 속성에 대한 추가 통찰력을 제공합니다. FOUP 핸들러에는 중요한 얇은/두꺼운 필름 측정, 색상, 텍스처, 복굴절, 표면 커버리지, 초점 깊이, 평탄함, 텍스처, 전위, 패턴 해상도, 웨이퍼 평평, 재료 특성, 이미지 대비, 다이 크기 정확도 및 방향에 대한 표준 알고리즘 및 도량형 연산이 포함됩니다. 또한, KLA Intelligent Monitoring & Defect Control Tools 는 웨이퍼 간 자동 도량형을 가능하게 하며, 실시간 데이터 출력을 통해 제품 성능 및 프로세스 매개변수를 평가할 수 있습니다. SP1/F5X/Spectra FX용 TENCOR FOUP 핸들러는 웨이퍼 및 기타 민감한 기판의 정밀 평가와 도량형을 위해 설계된 효율적이고, 안정적이며, 견고한 도구입니다. 신속한 검사와 모니터링 (monitor) 을 통해 신속하게 의사 결정과 제품 분석을 수행할 수 있습니다. 결과적으로 TENCOR FOUP 핸들러 (TENCOR FOUP Handler) 는 웨이퍼 테스트 및 도량형을 전문으로하는 상업 또는 연구 시설의 필수 부분입니다.