판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-5500 #138548
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판매
ID: 138548
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2003
Stress measurement system, 8"
Sample Handling: 6" & 8"
CE Marked
Standard Specifications:
Throughput: >54 WPH (8")
Measurement:
Speed: 5s (6")
Range: 1x107 to 4x1010 dynes/cm2
Repeatability: (1σ) < 1x107 dynes/cm2 for 10 measurements
Accuracy: <2.5% or 1MPa (whichever is larger)
Resolution: kmin (1/m) = 0.000100, Kmax (1/m) = 0.400000
Minimum Radious: 3.0m (for 80mm scan length)
Minimum Scan Step: 0.02mm
Maximum Points per scan: 1250
Scan Direction: 15°, 30°, 45°, & 90°
Scan Range: User programmable up to 8"
Detectable Stress: All reflecting films over 1000 Å thick
Process Type: Single Wafer
(1x) Integrated SMIF (Asyst)
Handler Robot: ATM-407B-2-S-CE-S293 (Dual Puck) / Brooks (PRI)
Dual Wavelength Scanning
GEM/SECS Interface
Computer: Pentium 133MHz
16MB Ram
2GB Hdd
SVGA Monitor
OS SW: msWindows 3.11 /DOS 6.22
Application SW: Version 4.3
Power Requirements: V 208-240, Freq 50/60Hz
2003 vintage.
KLA/TENCOR FLX-5500은 다양한 웨이퍼 특성을 검사하고 모니터링하는 고성능 (high-throughput) 통합 분석 솔루션을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA FLX-5500은 프런트엔드 웨이퍼 테스트 및 백엔드 웨이퍼 도량형 작업을 모두 수행할 수 있으므로 광자, MEMS, 고급 모바일 반도체와 같은 많은 애플리케이션을 위한 다용도 플랫폼입니다. TENCOR FLX 5500에는 사용자 인터페이스/PDU (programmable digital unit) 로 쉽고 직관적인 사용자 상호 작용이 가능하며, 광학 및 RF 구성 요소가 통합 된 WMS (Wafer Metrology System) 로 광학 검사, 결함 분석, 측정 및 측정 스캔,, 전기식 스캔 등의 작업을 수행합니다. UI/PDU 는 사용자가 장치를 쉽게 조작할 수 있는 직관적인 방법입니다. 여기에는 레시피 선택, 시스템 설정, 스캔 제어, 매개변수 설정, 데이터 검토 등의 제어 기능에 대한 빠른 액세스가 포함됩니다. 또한, 사용자 인터페이스는 실시간 성능 데이터를 모델링하여, 여러 관점에서 데이터를 표시하여 신속한 의사 결정을 지원합니다. WMS는 웨이퍼 특성을 검사하고 측정하기위한 고성능 광학 및 RF 도량형 도구를 자랑합니다. 이 도구는 전체 스펙트럼 이미징 분광기를 포함한 여러 구성 요소를 통합하여 균열 및 불순물 (crack and impurities) 과 같은 발광 입자, 피쳐 선명도를 검사하는 자동 초점 이미징 에셋, 웨이퍼 표면을 모니터링하는 자동화된 물리 매핑 모델, 통합 다이아몬드 선반가공 장비 (surface flatness) 를 정확하게 측정합니다. 또한, KLA FLX 5500에는 자동 테스트, 결함 수화, 프로세스 제어 최적화, 전체 하드웨어 모니터링, 강력한 데이터 보안 등의 고급 기능을 갖춘 강력한 소프트웨어 제품군이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 시스템의 자동 테스트 (automated testing) 기능을 극대화하도록 설계되었으며, 각 웨이퍼는 품질 관리 (quality control) 및 프로세스 최적화 (process optimization) 를 위해 테스트됩니다. FLX 5500 은 컴팩트하고 강력한 wafer 테스트/도량형 장치로서, 모든 유형의 wafer 의 품질과 성능을 테스트하고 모니터링하는 데 필요한 모든 기능을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스, 강력한 자동 테스트 기능, 통합 광/RF 구성 요소 등을 갖춘 FLX-5500 Ensuresand는 정확하고, 안정적이며, 경제적인 결과를 제공합니다.
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