판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-5400 #10547
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판매
ID: 10547
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Stress Measurement System, 8"
Software version: 4.25
Software: WinFLX
SMIF type: No
Cassette plate: 6", 5", 4"
PC: Pentium 120 MHz
Laser:
670nm: 3.149
750nm: 3.540
1996 vintage.
KLA/TENCOR FLX-5400은 최첨단 웨이퍼 검사 및 분석을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 현미경 (Optical Microscope) 과 이미지 처리 (Image Processing) 기술을 활용하여 완성된 웨이퍼의 전체 표면적을 정밀도와 정확도가 높게 검사합니다. 그런 다음 검사 소프트웨어 (Inspection Software) 를 사용하여 결함 및 미세 결함을 감지하고, 일관성을 평가하며, 웨이퍼에 대한 관심 기능을 검증합니다. KLA FLX-5400 에 통합된 광학 현미경은 고배율 렌즈와 고유한 광학 설계를 활용하여 고해상도 (High Inspection Resolution) 를 보장합니다. "렌즈 '는 1000X 까지 배율 을 제공 할 수 있는데, 이 장치 는 5um 만큼 작은 미세 기질 을 감지 할 수 있다. 현미경에서 생성 된 이미지 데이터는 또한 2 차원 및 3 차원 이미지 분석 기법을 사용하여 결함을 감지하고, 피쳐 크기를 측정하고, 시간이 지남에 따라 이미지를 비교하여 웨이퍼 (wafer) 표면에 대한 변경 사항을 찾는 특수 소프트웨어 (specialized software) 에 의해 처리됩니다. 또한 TENCOR FLX 5400 에는 자동 로드 및 처리 장치 (Automated Loading and Handling Machine) 가 포함되어 있어 Wafer 샘플을 쉽게 설정하고 검색하여 검사할 수 있습니다. 이 로드 및 처리 툴을 통해 FLX-5400 은 다양한 유형의 기능을 사용하여 다양한 웨이퍼 (wafer) 간에 쉽게 전환할 수 있으며, 각 샘플을 신속하고 효율적으로 분석할 수 있습니다. 고급 광 검사 기술과 함께 TENCOR FLX-5400 은 표면 결함을 식별, 분류, 정량화할 수 있는 자동화된 결함 평가 기능도 갖추고 있습니다. 이 자동 분석 (automated analysis) 을 통해 제조업체는 웨이퍼 샘플의 품질을 빠르고 정확하게 평가할 수 있으며, 이를 통해 생산 및 프로세스 제어에 대한 정보를 얻을 수 있습니다. FLX 5400 은 강력한 다용도 자산으로, Wafer 테스트 및 분석 요구 사항에 대한 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 자동화됨 (Automated) 과 수작업 (Manual Inspection) 을 모두 제공함으로써 광범위한 재료와 구조에 대한 최고 품질의 표준을 보장할 수 있습니다. 이러한 기능의 조합으로 인해 KLA/TENCOR FLX 5400 은 Wafer 제조업체가 운영 프로세스를 최적화하려는 최적의 선택이 됩니다.
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