판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-2908 #9385708

KLA/TENCOR FLX-2908은 고급 웨이퍼 수준 결함 검사를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 단일 시스템에서 고속 (High Speed) 과 고해상도 (High Resolution) 의 조합을 제공하여 선행 비용과 반복 비용을 낮게 유지합니다. 이 단위는 주어진 웨이퍼에서 수많은 다이를 검사 할 수 있으며, 임계 치수 (CD) 및 전기 측정 매개변수 (E&S 매개변수) 를 동시에 측정 할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 여러 제품 온보드 측정 도구를 통합합니다. 즉, 웨이퍼에 걸쳐 여러 피쳐 유형 (공격적인 기능 및 매개변수 집약적 유형 포함) 을 자동으로 측정 할 수 있습니다. KLA FLX-2908은 원하는 매개변수를 검사하고 최대 5-µm CD/XP 해상도로 측정합니다. 이 기능은 정교한 이미징, 패턴 일치 (pattern matching) 및 3D 높이 프로파일 측정 알고리즘을 구현하여 측정 속도를 그대로 유지하면서 미묘한 결함을 감지합니다. 이 자산에는 광학 CD/XP 측정, 2D 토폴로지 기능 측정 및 기타 도량형 기술과 같은 다양한 온보드 도량형 기술이 포함되어 있습니다. 또한 결함 및 오염 탐지에 중점을 둔 통합 고배율 검사 모델이 포함되어 있습니다. 이 장비는 광학 결함 검사와 같은 향후 검사 플랫폼도 수용 할 수 있습니다. TENCOR FLX 2908은 뛰어난 CD/XP 측정, 탁월한 정밀도 및 높은 신뢰성을 제공합니다. '하이브리드 도량형 시스템은 광범위한 측정 범위, 유연한 검사 기능 및 높은 처리량을 갖추고 있습니다. 또한, 자동 교정 프로세스를 제공하여 빈번하고 정확한 도량형 측정을 가능하게합니다. 또한 향상된 SPC 기능, 향상된 die 내 측정 반복 기능, 자동 데이터 저장/복원 시스템 등이 포함되어 있습니다. 이 도구는 로봇 공학이 통합된 소형 폼 팩터 (form factor) 를 가지고 있으며 작은 크기의 클린룸에도 사용할 수 있습니다. 이러한 설계를 통해 작업 자동화를 통해 로봇 운송을 사용하여 빠르고 쉬운 검사/도량형 (Inspection/Metrology) 을 위해 웨이퍼와 컴포넌트를 앞뒤로 이동할 수 있습니다. 마지막으로, TENCOR FLX-2908은 데이터 수집, 분석 및 보고를 지원하는 고급 SPC (Statistical Process Control) 소프트웨어를 통합하여 일관된 품질을 보장합니다.