판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-2908 #293587318

KLA / TENCOR FLX-2908
ID: 293587318
Thin film stress measurement system.
KLA/TENCOR FLX-2908은 광범위한 반도체 매개변수를 측정하고 모니터링하는 데 사용되는 '웨이퍼 테스트 및 도량형' 장비입니다. 이 시스템에는 다양한 반도체 프로세스 (Semiconductor Process) 와 기판 (Substrate) 에서 테스트 및 측정을 처리하도록 설계된 여러 모듈이 포함되어 있으며, 장치 성능을 검증하기위한 정확하고 안정적인 도구를 제공할 수 있습니다. KLA FLX-2908 장치는 고해상도 이미징 머신 (High Resolution Imaging Machine) 을 사용하여 웨이퍼 표면의 이미지를 캡처하여 기능 및 컴포지션에 대한 정확하고 상세한 정보를 제공하여 다양한 기하학적 방향으로 정확하고 전문화 된 도량형을 측정할 수 있습니다. 포함된 FTIR 분광법 모듈은 두께 (thickness) 및 수동층 균일성 (passivation layer uniformity), 재료 구성 (material composition) 및 저항성 (resistivity) 과 같은 웨이퍼 테스트에 대한 다양한 매개변수를 측정합니다. TENCOR FLX 2908 도구는 볼륨 결함 및 비 볼륨 결함 감지를 위한 고급 알고리즘을 갖추고 있습니다. 이러한 알고리즘은 텍스처 (texture) 와 광방출 맵 (light emission map) 의 평가와 재료 광학 특성 검증에 기초합니다. 또한, 자산은 사용 가능한 최고 속도로 웨이퍼 스캔 (scan wafer) 으로 설정할 수 있으며, 이는 생산 중 많은 수의 웨이퍼 (wafer) 를 테스트하는 데 이상적인 선택입니다. TENCOR FLX-2908 의 특성은 각 사용자 및 프로세스의 개별 테스트 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 포함된 재료 검증 (materialification) 도구 상자는 결과가 원하는 표준과 일치하도록 도와 주며, 필요에 따라 쉽게 설정을 조정할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR FLX 2908 은 데이터 추적을 지원하므로 지난 테스트 결과를 저장하고 분석할 수 있습니다. 따라서 다른 테스트를 비교하고, 프로세스의 진행 상황을 효율적으로 추적할 수 있습니다. 또한, 이 결과는 추가 분석을 위해 쉽게 액세스 할 수 있으며, 데이터 기반 결정에 사용될 수 있으므로 전체 웨이퍼 (wafer) 프로세스를 보다 효과적으로 관리할 수 있습니다. 전반적으로, FLX-2908 은 반도체 개발 및 생산에 관여하는 모든 사람에게 매우 유용한 툴로서, 광범위한 재료와 프로세스를 테스트, 모니터링하는 데 사용하기 쉽고 고품질 (High-Quality) 솔루션을 제공합니다. 견고성 (견고성) 과 유연성 (유연성) 을 결합한 이 모델의 강력한 기능은 모든 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 요구 사항에 맞는 완벽한 선택입니다.
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