판매용 중고 KLA / TENCOR FLX 2350 #9203062

ID: 9203062
Thin film stress measurement system.
KLA/TENCOR FLX 2350은 무접촉 (non-contact) 및 비파괴 (non-destructive) 기술을 위한 다양한 광 기능을 제공하는 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 기기의 기능에는 스테이지 스캐닝, 3D 이미징, 초박형 칩 인상 및 마이크로 몰딩이 포함됩니다. 클라플렉스 2350 (KLA FLX 2350) 의 유연성은 다양한 업종의 정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 애플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다. TENCOR FLX 2350은 최대 9x13 인치의 웨이퍼 크기에 적합한 대용량 시스템입니다. 자동 "웨이퍼 '정렬 기능을 갖춘 빠르고 부드러운 스캐닝 (scanning) 솔루션을 제공하여 와퍼가 테스트에 적절히 배치되도록 합니다. FLX 2350 은 매우 작은 결함을 감지하고, 높은 정확도로 자동 측정, 분류, 정렬을 수행할 수 있습니다. KLA/TENCOR FLX 2350에는 여러 가지 고급 이미징 및 측정 기술이 장착되어 있습니다. 여기에는 다음이 포함됩니다. 저노이즈 스테레오 현미경, 2 광자 입체 현미경, 고속 회절 제한 영상, 형광 영상, 원자력 현미경, 광학 프로파일로메트리, 기울기 스캔 및 다중 모드 영상. 이러한 각 기술은 가장 작은 결함 또는 기능 (정확성과 반복 가능성) 을 측정하고 감지 할 수 있습니다. KLA FLX 2350은 결함 인식 및 완화가 모두 가능한 KLA AFIX Vision Unit으로 구동됩니다. 이 통합을 통해 TENCOR FLX 2350은 심각한 결함을 감지, 인식, 분석, 정렬하고 이를 수정할 수 있습니다. 또한 프로세스 제어를 위한 중요한 측정 (예: 설계 규칙 체크, 프로세스 제어 분석) 을 수행할 수 있습니다. 이 기계는 다양한 테스트 및 도량형 애플리케이션에 대한 다양한 소프트웨어 패키지 (예: 프로세스 감사자, 결함 분석기, 이미지 뷰어) 를 제공합니다. 테스트, 검사 및 측정 프로세스를 자동화하는 TENCOR AFIX Vision Tool도 포함되어 있습니다. FLX 2350 은 Report 분석, Metrics 및 기타 데이터에 대한 실시간 액세스 권한을 제공합니다. KLA/TENCOR FLX 2350은 고속, 정확하고 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 다양한 정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 애플리케이션에 적합합니다. 견고한 설계를 통해 까다로운 환경에서도 정확한 결과와 최고의 가동 시간을 제공할 수 있습니다 (영문). AFIX Vision Model 이 추가되면서, KLA FLX 2350 은 다양한 테스트 및 도량형 프로세스를 자동화할 수 있는 강력한 툴입니다.
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