판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-2320S #293602184
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판매
ID: 293602184
웨이퍼 크기: 4"-8"
Stress measurement system, 4"-8"
Dual wavelength
Chuck size: Configured for up to 8" wafers
LCD Monitor
Covers
Printer
Wafer locators
Temperature: 500°C
Circuit board
Parts have been replaced:
Photomultiplier tubes
Puck assembly
Calibration wafers
Machine covers
Operations manual and documentation included.
KLA/TENCOR FLX-2320S는 장치 제조업체의 고성능 수요를 위해 개발 된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 즉, 고속/정확성을 갖춘 다양한 디바이스 구조를 파악하고 분석할 수 있는 탁월한 기능을 제공합니다. KLA FLX 2320 S는 완전 자동화 플랫폼이며, 완전히 통합 된 측정 및 도량형 도구 세트를 갖춘 듀얼 암 (Dual-arm) 설계를 갖추고 있습니다. 광범위한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있으므로 사용자가 특정 애플리케이션에 대한 최적의 구성을 선택할 수 있습니다. 이중 암 (Dual-arm) 설계는 최대 정확도와 정밀도를 위해 설계되었으며, 최대 300 가지의 장치 구조를 자동으로 인식하고 측정 할 수 있습니다. 또한, 시스템의 통합 자동 초점 및 이미지 스티칭 기능으로 효율성과 생산성이 향상됩니다. 통합 공구 세트는 서피스, 프로파일, 결함, 입자 분석 등 다양한 측정 옵션을 제공합니다. 포함된 분리 게이트 (separation gate) 도구를 사용하면 웨이퍼를 다양한 격자로 파티션할 수 있으며, 이를 통해 여러 측정과 분석을 동시에 수행할 수 있습니다. 포함 된 입자 분석 도구 (particle analysis tools) 는 입자를 1 미크론만큼 작게 감지하여 사용자가 결함을 조기에 포착하고 스크랩 속도를 줄일 수 있습니다. TENCOR FLX-2320-S 에는 다른 데이터베이스, 카탈로그, 보고서에 테스트 결과를 저장할 수 있는 기능과 같은 데이터 관리 기능도 포함되어 있습니다. 그런 다음 이 데이터를 사용하여 추가 분석 및 운영 관리를 쉽게 수행할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 소프트웨어/툴이 포함되어 있으며, 사용하기 쉽고 사용자 정의가 가능한 고급 시각화 (Visualization) 및 분석 (Analysis) 기능을 제공합니다. TENCOR FLX-2320S는 이중 암 설계, 통합 측정 및 도량형 도구, 다중 측정 및 분석 옵션, 데이터 관리, 고급 소프트웨어 및 도구를 갖춘 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 이 툴은 고성능/정확성을 위해 설계되었으며, 디바이스 제조업체를 위한 효율적이고, 안정적이며, 경제적인 솔루션을 제공합니다.
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