판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-2320A #293754089

KLA/TENCOR FLX-2320A는 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 장치 특성 및 프로세스 제어에 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다. 이 시스템은 자동화된 선형 모터 구동 플랫폼 (Linear Motor-Driven Platform) 을 활용한 고급 옵티컬 설계 (Optical Design) 를 통해 전체 웨이퍼 크기 범위에서 장치 기능을 정확하고 일관되게 측정합니다. 이 장치는 높은 처리량을 보장하면서 빠르고 정확한 결함 크기 조정, 이미징 (imaging), 결함 분석 기능을 제공하도록 설계되었습니다. KLA FLX 2320 A에는 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형에서 뛰어난 해상도와 정확성을 제공하기 위해 여러 독점 기술이 장착되어 있습니다. 이 기계는 "Integrated Defect Analysis and Detection" 을 나타내는 I-DAD 인터페이스를 사용하여 자세한 결함 분석 및 장치 특성을 제공합니다. I-DAD (I-DAD) 도구는 여러 카메라 이미지와 결합된 이중 레이저 스캔 및 수직 조명을 사용하여 빠르고 정확한 결함 크기 조정 및 식별을 위해 웨이퍼 표면의 3D 이미지를 생성합니다. 자산은 또한 시간-도메인 반사계 (time-domain reflectometry) 를 사용하여 웨이퍼의 각 장치의 전기 특성을 측정 할 수 있습니다. 이로써 모델의 도량형 (metrology) 기능이 추가되었고, 웨이퍼 (wafer) 에 있는 각 장치의 전기 성능에 대한 귀중한 통찰력을 제공합니다. TDR 채널 (TDR Channel) 을 추가하면 웨이퍼에 있는 각 디바이스의 전기적 특성을 보다 자세히 파악할 수 있습니다. 또한, TENCOR FLX-2320-A에는 결함을 분류 및 분류하기 위해 고급 이미지 처리 장비가 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 수동 검사, 결함 정렬, 정확도 및 처리량 증가에 소요되는 시간을 줄일 수 있습니다. 이 시스템은 Windows 7로 구동되며 256 개의 회색 레벨 해상도와 최대 1617 nm/px 크기의 10 비트 회색 스케일 CCD를 포함합니다. 웨이퍼 스테이지는 최대 650mm 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 또한 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스와 자동 웨이퍼 처리를 위한 내장 웨이퍼 테이크 아웃 (Wafer Take-Out) 로봇이 포함되어 있습니다. 결론적으로 KLA FLX-2320A는 포괄적인 I-DAD 인터페이스, TDR 채널, 이미지 처리 기능, 자동 웨이퍼 처리 장치 등의 고급 기능을 제공하는 강력하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 이 툴은 정확한 결과와 높은 처리량을 보장하기 위해 고성능 웨이퍼 테스트 (wafer testing), 도량형 (metrology) 및 결함 분석 기능을 제공하도록 설계되었습니다.