판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-2320 #9371825

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ID: 9371825
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1993
Thin film stress measurement system, 6" Heater chuck No computer Power supply: 115 V, 12 A, Single Phase, 60 Hz 1993 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2320은 강력하고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 산업 프로세스 제어에 사용될 수있는 정확한 측정을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 최신의 최첨단 광학/전기 기술 (Optical and Electrical Technologies) 을 탑재하고 있어 웨이퍼 측정에서 최고 수준의 정확성을 제공합니다. 이 장치는 실리콘 (silicon) 에서 게르마늄 (germanium) 까지 광범위한 웨이퍼 재료를 테스트 할 수있는 다재다능하며, 직경이 최대 200mm 인 작은 구조물 또는 큰 구조를 측정 할 수 있습니다. 두께, 지형, 표면 오염, 표면 결함, 전기 및 광학 특성 등, 웨이퍼의 다양한 물리적 특성을 측정 할 수 있습니다. KLA FLX-2320 에는 AutoFocus 와 같은 다양한 최첨단 기술 (예: Optic) 이 장착되어 있어 측정 과정에서 Optic 에 초점을 맞출 수 있습니다. TENCOR FLX 2320 은 이미징 및 검출기 (detector) 기술의 최신 기술을 활용하여 빠른 속도로 정확한 측정 결과를 제공할 수 있습니다. 무결점 (flawless performance) 을 보장하기 위해 기계는 여러 가지 특수 기능으로 설계되었습니다. TENCOR FLX-2320은 비 파괴적인 로컬 레이저 및 저에너지 이온 폭격 (LEIB) 을 사용하여 브레이크 아웃을 정확하게 감지하고, 기판층의 변화를 정확히 파악하고, 이전 측정에 영향을 미치지 않고 구덩이와 범프를 측정합니다. 또한, 닫힌 루프 스캔 제어를 통해 테스트 중인 웨이퍼의 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 또한, 도량형 도구는 사용자에게 매우 편리하도록 설계되었습니다. 자동 조정 기능을 사용하면 FLX-2320 을 최소 분량의 설정과 함께 사용할 수 있으며, 이를 재보정할 필요가 없습니다. 자산은 또한 데이터 획득 및 분석 기능을 자동화하여 결과의 설정, 비교, 문제 해결을 용이하게 합니다. 프로덕션에서 프로세스 제어에 이르기까지, KLA FLX 2320은 정확하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형을 제공합니다. 첨단 기술과 기능을 통해 웨이퍼 (Wafer) 측정 및 분석에서 최고 수준의 정확성과 정밀도를 제공할 수 있습니다.
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