판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-2320 #9293253

KLA/TENCOR FLX-2320은 인라인 처리량이 많은 작업을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 최첨단 시스템은 고급 정밀 알고리즘과 광학 (optical) 기술을 결합하여 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 제공합니다. KLA FLX-2320 은 고급 결함 감지 알고리즘으로 빠른 전체 웨이퍼 스캐닝 (full-wafer scanning) 기능을 제공하며 실시간 자동 결함 분류를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 광범위한 프로세스, 재료, 생산성 관리 문제를 해결할 수 있습니다. TENCOR FLX 2320의 고급 광학 장치 (advanced optics unit) 는 전체 웨이퍼 도량형 및 측정 기능을 제공하여 기존 테스트 매개변수 (예: 선 너비, 선 모서리 거칠기, 임계 치수) 의 전체 배열을 다룹니다. 이 기계는 2D 및 3D 지형을 분석하기 위해 여러 광학 채널을 통합했으며, 로컬 영역 및 피쳐 모서리의 정확한 이미징을 제공합니다. TENCOR FLX-2320은 또한 인라인, 전체 웨이퍼 스캔 작업 중에 자동으로 정확성과 반복성을 제공합니다. 동일 "웨이퍼 '에 있는" 센서' 간 의 정확 한 정렬 과 더불어 측정 하는 "피처 '에 대한 정확 한 정렬 을 보장 하는 정렬 장치 가 갖추어져 있다. 이는 동일한 웨이퍼 (wafer) 에서 측정된 모든 측정값이 동일한 정밀도 (accuracy level) 에 있어야 합니다. FLX 2320 의 고급 광 툴 (optical tool) 은 신속한 데이터 전송 및 처리 기능을 제공하여 대용량 제조에 적합합니다. FLX-2320 의 높은 처리량 (Throughput) 기능으로 Wafer Testing 및 Metrology 를 선택할 수 있으며 운영 분야의 결함 추세에 대한 정보를 얻을 수 있습니다. 이 자산은 신뢰성이 높은 Cleanroom 운영을 위해 설계되었으며 KLA의 전체 유지 관리 프로그램이 지원합니다. KLA FLX 2320은 매우 사용하기 쉽고 오늘날의 웨이퍼 테스트 및 도량형의 필수품입니다. 이 솔루션은 인라인 (in-line), 처리량 (high-throughput) 작업을 위해 안정적이고 정확한 모델이 필요한 고객에게 이상적인 솔루션입니다.