판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-2320 #9292632

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ID: 9292632
빈티지: 1993
Film stress measurement system 1993 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2320은 고급 도량형 성능, 정확한 데이터, 신뢰성을 통해 IC 제조 작업을 개선하기 위해 개발 된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA FLX-2320 은 소형 설치 공간에서 속도와 정확성을 제공하는 독보적인 광 웨이퍼 (optical wafer) 측정 아키텍처를 갖추고 있습니다. 이 아키텍처는 일회성 자동 초점 기능, 고속 X 드라이브 포지셔닝 기술, 자동 도량형 기능 및 고급 CCD 이미징 센서를 포함합니다. 고급 CCD 이미징 센서는 고해상도 (High-Resolution) 및 광시야 (Wide-field) 이미지 캡처 기능을 구현하도록 설계되어, 시스템이 정확성과 반복성으로 서로 다른 유형의 웨이퍼 (Wafer) 기능을 동시에 측정할 수 있습니다. 또한 TENCOR FLX 2320 은 고급 일회성 자동 초점 (one-time autofocus) 기능을 제공하여 웨이퍼 (wafer) 의 초점을 정확하고 신속하게 조정하여 웨이퍼 측정 프로세스의 처리량을 높일 수 있습니다. 또한 고속 X 드라이브 포지셔닝 기술은 웨이퍼 스테이지의 빠르고, 정확하며, 무작위 동작을 보장합니다. TENCOR FLX-2320 머신은 번거로운 작업 설정 (job setup) 및 데이터 보고 작업을 제거하여 능률적인 작업을 수행하는 강력한 자동화 기능으로 설계되었습니다. 이 툴에는 Windows 기반 소프트웨어가 설치된 대화형 PC 워크스테이션도 포함되어 있어 Tradeoff 기능과 데이터 분석에 대한 화면 제어가 용이합니다. 또한, 고급 웨이퍼 레벨 경보 기능은 지속적인 프로세스 최적화를 위한 실시간 의사 결정을 제공합니다. KLA/TENCOR FLX 2320 자산은 불투명 레이어, 3D 표면 및 구조로 임의의 패턴 기판, 디스플레이 및 기판을 측정 할 수 있습니다. 또한, 완전 오프라인 웨이퍼 검사 (Offline Wafer Inspection) 기능을 통해 추가 고가의 장비 없이도 웨이퍼를 검사할 수 있습니다. 마지막으로, 이 모델은 SEMI 및 US Conformity Assurance Level 1 (CAL1) 을 포함한 산업 표준을 충족합니다. 요약하자면, FLX 2320 은 IC 구성 작업을 개선하는 데 사용할 수 있는 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 일회성 자동 초점 기능, 고속 X 드라이브 포지셔닝 기술, CCD 이미징 센서 등을 통해 정확하고 반복 가능한 방식으로 다양한 웨이퍼 (wafer) 기능을 측정할 수 있습니다. 또한 강력한 자동화 기능, Windows 기반 소프트웨어 및 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 경보 기능을 제공하여 작업을 더욱 효율적으로 수행할 수 있습니다.
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