판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-2320 #9269304

KLA/TENCOR FLX-2320은 집적 회로 웨이퍼의 고정밀 측정을 제공하기 위해 설계된 평면 어레이 검사 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 유연한 도량형 플랫폼 (metrology platform) 을 갖추고 있으며, 각 웨이퍼가 제대로 작동하는지 확인하기 위해 수많은 웨이퍼 테스트와 측정을 수행할 수 있습니다. 클라플렉스 2320 (KLA FLX-2320) 은 하이엔드 광학 기술로 웨이퍼 표면에서 작은 기능과 결함을 감지할 수 있다. 이 장치에는 완벽한 도량형 기능을 제공하도록 설계된 강력한 소프트웨어 제품군이 있습니다. 이 제품군은 동작 제어 기술을 사용하므로 Z 높이 측정, 스캔, 초점, 드리프트 제어 등의 제어 작업이 가능합니다. 또한 Edge Enhancement, Optical Profilometry, Image Analysis 등 여러 가지 고급 기술을 활용하여 측정값의 정확성을 보장합니다. 또한, 기계는 접촉하지 않는 표면 측정을 위해 다른 기계와 통합 될 수도 있습니다. 여기에는 4 ~ 12 인치 직경의 다양한 웨이퍼 크기를 지원하는 스캔 헤드 (scan head) 옵션이 포함됩니다. 이를 통해 다양한 테스트와 측정이 필요한 응용 프로그램에 공구를 사용할 수 있습니다 (영문). 강력한 소프트웨어와 함께 사용할 경우 TENCOR FLX 2320 은 고해상도 도량형 (High Resolution Metrology) 데이터를 신속하게 캡처할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 자산은 결함 검사, 프로세스 제어, 라인 모니터링, 중요 치수, 오버레이 및 필름 두께와 같은 응용 프로그램에 이상적입니다. 고도의 정밀 측정 기능과 유연한 설정 (Flexible Setup) 기능을 갖춘 Wafer Testing 및 Metrology에 적합한 모델입니다.