판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-2320 #9036651
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KLA/TENCOR FLX-2320은 정확한 2D 이미지와 3D 윤곽선 맵을 제공하여 300mm 웨이퍼를 신속하게 검사, 테스트 및 계량화했습니다. 클라 플렉스-2320 (KLA FLX-2320) 은 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 작동할 수 있는 고급 장비로, 캡처 및 검사하는 데이터에 따라 빠르고 안정적인 결정을 내릴 수 있습니다. 이 시스템은 높은 값과 세부 해상도 (Details Resolution) 를 포함하는 프로세스를 통해 웨이퍼 분석 (Wafer Analysis) 및 깊이 측정을 신속하게 수행합니다. 또한, 이 단위는 웨이퍼의 전기 특성에 대한 빠르고, 정확하고, 반복 가능한 측정을 허용합니다. TENCOR FLX 2320 은 다양한 기능을 실행할 수 있는 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 여기에는 스캐너 (scanner) 가 포함됩니다. 스캐너는 웨이퍼에서 칩의 이미지를 빠르게 처리합니다. 웨이퍼의 전기 특성을 측정하고 확인할 수있는 도량형 기계 (metrology machine); 웨이퍼 서피스에서 발견된 결함을 식별, 정량화, 분류할 수 있는 결함 로컬라이제이션 툴 (Defect localization tool) 입니다. 또한, 에셋은 웨이퍼 (wafer) 의 모양을 분석하여 설계 사양을 준수하며 모든 폼 팩터 (form-factor) 또는 구조적 오류를 감지할 수 있음을 확인할 수 있습니다. 마지막으로, FLX 2320 에는 빠르고, 안정적이며, 반복 가능한 처리량 측정값을 제공하는 처리량 (throughput) 측정 모델이 장착되어 있어 상세한 프로세스 모니터링이 가능합니다. 전반적으로 KLA/TENCOR FLX 2320은 다양한 300mm 웨이퍼 검사 프로세스의 품질을 향상시키는 강력하고 안정적인 도구입니다. 선명하고 상세한 이미지, 전기 특성 측정 및 확인, 모양 분석, 처리량 측정 (모두 빠르고 반복 가능한 방식) 을 제공할 수 있습니다. 또한, 고급 프로세스 제어 (Process Control) 및 신뢰성을 바탕으로 설계되었으며, 이를 검사하고 캡처하는 데이터를 기반으로 빠르고 정확한 의사 결정을 제공할 수 있습니다.
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