판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-2320 #293667053

ID: 293667053
빈티지: 2001
Thin film stress measurement system Manuals included 2001 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2320은 웨이퍼 테스트 및 도량형 애플리케이션을 위해 제작 된 고급 장비입니다. 이 시스템은 표면 도량형 (surface metrology) 및 비파괴 웨이퍼 테스트 (non-destructive wafer testing) 를 모두 수행할 수 있으므로 광범위한 산업에서 사용할 수 있습니다. KLA FLX-2320 은 다양한 기술을 통해 고급 테스트 및 도량형 기능을 수행할 수 있습니다. AOI (Automated Optical Inspection) 는 고해상도 카메라 시스템을 사용하여 서브 마이크론 웨이퍼 결함과 같은 보이지 않는 결함을 감지합니다. TENCOR FLX 2320은 또한 DLMI (Digital Multilayer Wafer Imaging) 기술을 통합하여 3D 이미징 및 시각적 검증의 최신 향상을 활용하여 여러 계층의 기판에서 결함을 감지합니다. 또한, FLX 2320에는 순환 방식으로 증착 및 에치 단계를 수행 할 수있는 순환 증착/에치 장치 (cyclic deposition/etch unit) 가 장착되어 최소 폐기물로 매우 정밀한 증착 및 에치 공정이 가능합니다. 이 머신은 최대 180 개의 웨이퍼를 동시에 수용할 수 있으며, 생산 시간이 단축되고 생산 능력이 향상됩니다. 또한 테스트 가능성 및 수율 분석에 TENCOR FLX-2320을 사용할 수 있습니다. FLX-2320 은 통합 테스트 그리드, 아날로그-디지털 변환 (analog-to-digital conversion) 및 기타 전기 프로브 (probing) 기술을 사용하여 다양한 기판의 전기 특성에 대한 자세한 정보를 제공할 수 있으며, 이를 통해 수익률을 상세하게 벤치마킹하고 분석할 수 있습니다. 마지막으로, KLA FLX 2320은 다양한 표면 특징과 결함을 측정, 특징 지정, 진단할 수있는 일련의 분석 도구를 갖추고 있습니다. 3 차원 레이저 현미경, 원자력 현미경과 같은 이러한 도구를 통해 사용자는 웨이퍼의 물리적, 화학적 특성에 대한 전례없는 통찰력을 얻을 수 있습니다. KLA/TENCOR FLX 2320 wafer testing and metrology tool은 강력한 고급 자산으로 wafer testing and metrology 관련 다양한 작업을 수행할 수 있습니다. 자동화된 디지털 이미징, 광학 검사, 현미경 검사, 전기 조사 (electrical probing) 기능을 통해 제조 공정에 대한 탁월한 통찰력과 제어 능력을 제공하여 향상된 수율 및 생산 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스와 분석 도구 제품군을 통해 KLA/TENCOR FLX-2320 은 사용자 친화적이며 작동이 간편합니다.
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