판매용 중고 KLA / TENCOR FLX-2320 #293633036
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판매
ID: 293633036
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Thin film stress measurement system, 8"
2-D/3-D Mapping
Dual wavelength measurement: 670 nm and 780 nm
Resolution: 3e^-5 m^-1
Minimum scan step: 0.02 mm
Minimum radius: 2.0 m (Scan length: 80 mm)
Chuck size, 8"
Temperature: 500°C
Manual wafer load
Floppy drive, 3.5"
No dongle
Chuck heater
PC included
1997 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2320은 효율성과 성능을 극대화하기 위해 설계된 차세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA FLX-2320은 9 "~ 200mm 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 광범위한 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 프로그램을 지원합니다. 이 시스템의 터치스크린 디지털 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 작동이 용이하며 테스트 프로세스를 사용자 정의하고 최적화할 수 있는 다양한 환경을 제공합니다. TENCOR FLX 2320 은 초저소음 아키텍처와 고속 스캐닝을 통해 빠르고 정확하게 데이터를 수집할 수 있습니다. 이 장치는 빠른 처리량, 신뢰할 수있는 측정 및 고감도 이미징으로 나노미터 이하의 해상도를 제공합니다. 이 기계는 또한 0.1 나노 미터 감지 기능이있는 확장 된 감지 범위 (extended sensing range) 를 자랑하며, 다양한 도량형 응용 프로그램을 정확하고 빠르게 수행 할 수 있습니다. KLA/TENCOR FLX 2320은 고도로 통합되어 있으며 자동 웨이퍼 처리, 확대 및 스테이지 제어를 제공합니다. 웨이퍼 테스트 프로세스는 내장 광학 도량형 소프트웨어로 향상되었으며, 정확하고 반복 가능한 측정을 제공합니다. 이 도구는 또한 통합 웨이퍼 테스트 및 검사를 위해 다양한 연결 옵션 (예: 디지털 이미징, 검사, 분석 구성 요소) 을 제공합니다. 또한 TENCOR FLX-2320 은 자동 패턴 인식, 핵심 결함의 비파괴적 이미징 및 시각적 표시, 최적의 테스트 애플리케이션을 위한 자동화된 도구 제안 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이 자산은 사이클 시간 (cycle time) 을 줄이고 처리량을 향상시키는 한편, 추적 가능성과 품질 제어를 보장하도록 특별히 설계되었습니다. 전반적으로 FLX 2320은 반도체 산업을위한 고급 웨이퍼 테스트 및 측정 모델입니다. 웨이퍼 정렬에서 도량형 분석에 이르기까지, KLA FLX 2320은 자동 테스트 및 도량형을위한 다용도 및 강력한 플랫폼을 제공합니다. 고속 스캐닝, 저소음 아키텍처, 확장된 감지 범위 (sensing range) 및 자동화된 기능을 갖춘 FLX-2320 은 빠르고 정확한 측정 결과를 제공할 수 있어 처리량 및 효율성이 크게 향상되었습니다.
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