판매용 중고 KLA / TENCOR Flexus 5400 #9399076
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KLA/TENCOR Flexus 5400 (KLA/TENCOR Flexus 5400) 은 반도체 산업을 위한 정교한 품질 관리 및 생산성 향상을 제공하기 위해 개발 된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 검사 및 도량형 (Metrology Hardware), 종합적인 소프트웨어, 어플리케이션 전문 지식에 최적의 성능을 제공하는 완전 통합된 자동 시스템입니다. 이 제품은 가장 까다로운 반도체 제조업체의 표준을 충족시키도록 설계되었으며, 탁월한 처리량과 정확도를 제공합니다 (영문). KLA Flexus 5400의 고정밀 하드웨어 구성 요소에는 능동 및 수동 시청, 득점 및 계산 기계, 다양한 프로브, 광학 및 모션 유닛을위한 통합 산업 비전 장치 (industrial vision unit) 가 포함됩니다. 기계의 8축 동작 도구를 사용하면 동적 인덱싱 (dynamic indexing) 및 정밀도 (precision) 위치를 지정하고 다양한 웨이퍼 크기를 동적으로 검사할 수 있습니다. 이 자산에는 자동 제어 (Automated Control) 및 데이터 처리 기능과 포괄적인 시각적 피드백을 제공하는 포괄적인 소프트웨어 패키지도 포함되어 있습니다. TENCOR Flexus 5400 소프트웨어 제품군은 고성능 장치의 복잡한 3D 기능을 측정할 수 있으며, 입자, 결함 감지, 자동 패턴 인식 등의 측정에 대한 강력한 알고리즘을 제공합니다. 이 모델은 또한 Optical Projection Tomography (OPT) 및 Contour Scan을 포함한 강력한 검사 및 도량형 모드를 지원합니다. Flexus 5400 은 통합 분석 제품군을 통해 바이러스 (Virus) 와 같은 이상을 신속하게 파악하고 제조업체에 자세한 피드백을 제공합니다. 또한 KLA/TENCOR Flexus 5400은 안전하고 강력한 네트워크 아키텍처를 제공하여 데이터 보안을 보장합니다. 여기에는 여러 곳의 데이터를 안전하게 전송하고 저장할 수 있는 통합 분산 데이터 보호 (Distributed Data Protection) 장비가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 중앙 집중식 제조 품질 (Manufacturing Quality) 및 테스트 관리 시스템 (Test Management System) 과 통합되어 더욱 빠르고 정확한 결함 식별 및 수율 제어 기능을 제공합니다. KLA Flexus 5400은 최소한의 연산자 개입으로 정확하고 반복 가능한 측정을 제공하도록 설계된 강력하고 고급 웨이퍼 (wafer) 도량형입니다. 통합 비전 머신 (Vision Machine), 정확한 모션 제어 (Motion Control) 및 데이터 처리 기능을 통해 고급 제조 공정을 정확하게 검사하고 도량형이 가능합니다. 통합 소프트웨어, 보안 레이어 (security layer), 네트워크 시스템 (network system) 을 결합하여 제조업체에게 웨이퍼 프로세스를 실시간으로 모니터링하고, 문제를 감지하고, 신속하게 해결 조치를 취하여 최적의 수율을 보장할 수 있습니다.
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