판매용 중고 KLA / TENCOR Flexus 2320 #293762507

KLA / TENCOR Flexus 2320
ID: 293762507
Thin film stress measurement system.
KLA/TENCOR Flexus 2320은 반도체 제조를위한 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 또한 수작업을 최소화하면서 Wafer Materials의 품질을 빠르고, 정확하고, 비용 효율적으로 평가할 수 있는 기능을 제공합니다. KLA Flexus 2320은 2 개의 IR 카메라, 2 개의 광도 센서 및 4 개의 레이저 헤드로 구성된 고급 비전 및 감지 시스템을 갖추고 있습니다. APR (Adaptive Pattern Recognition) 알고리즘은 결함 감지 (Defect Detection) 정확도를 지속적으로 모니터링하고 결함 감지의 열쇠가 되는 고급 분류 기능을 지원합니다. 고급 옵틱 및 이미징 시스템을 통해 TENCOR Flexus 2320 (TENCOR Flexus 2320) 은 최대 정확도로 직경 140nm의 작은 결함을 식별하고 측정 할 수 있습니다. Flexus 2320은 또한 광범위한 웨이퍼 레벨 측정 및 분석을 생성 할 수 있습니다. 고급 광학 시스템은 웨이퍼 표면의 피쳐 크기, 간격 크기, 형태 변화 (흔들림) 및 불규칙한 계단 모양 패턴 (또는 단계) 을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 오버레이 및 임계 치수 균일성, 입자 및 오염 물질, 레이어 두께 등을 분석합니다. 측정 및 분석 외에도 KLA/TENCOR Flexus 2320은 웨이퍼 테스트 및 도량형 작업을 간소화하는 고급 자동화 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 포인트 앤 클릭 (point-and-click) 사용자 인터페이스와 자동 웨이퍼 처리 기능이 있는 완전 통합 소프트웨어 도구가 포함되어 있습니다. 이를 통해 연산자 개입을 최소화하면서 대규모 웨이퍼 배치를 자동으로 측정할 수 있습니다. KLA Flexus 2320은 강력하고 다용도 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 반도체 제조업체에 귀중한 자산입니다. 이 제품은 정교한 옵틱, 고급 이미징/감지 시스템, 종합적인 측정/분석 기능으로, 반도체 웨이퍼의 안정적이고 자동화된 품질 평가를 위한 완벽한 선택입니다.
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