판매용 중고 KLA / TENCOR Flexus 2320 #293724377

KLA/TENCOR Flexus 2320은 고급 석판 공정을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체 장치에 대한 온웨퍼 이미징 및 임계 치수 (CD) 측정을 제공합니다. 저소음, 고해상도 이미징 장치 (High Resolution Imaging Unit) 를 통해 웨이퍼의 결함과 기능을 정확하고 안정적으로 감지할 수 있습니다. KLA Flexus 2320에는 KLA 독점 MST (Multi-Stage Stitching Technology) 가 포함되어 있어 측면 및 수직 치수를 동시에 측정할 수 있습니다. 이 기계는 적외선 및 UV 이미징을 포함한 여러 광 서브 시스템을 통합합니다. 이를 통해 서브 미크론 (sub-micron) 피쳐와 광범위한 오버레이 측정을 식별 할 수 있습니다. 이 도구의 소프트웨어는 ISP (Imaging Signal Processor) 를 활용하여 데이터를 실시간으로 분석하고 결함 감지, CD 측정 및 오버레이 결과를 제공합니다. TENCOR Flexus 2320은 최첨단 리소그래피 프로세스로 실행되며, 운영 웨이퍼 프로세싱의 스캐닝 효율성을 높입니다. 에셋은 뒷면 (backside) 스캐닝도 지원하므로 웨이퍼 뒷면의 결함을 식별할 수 있습니다. 이 모델은 최고의 CD 측정 위치를 권장하며 입자, 에지 브레이크 (edge break) 및 기타 결함을 신속하게 감지하고 분류 할 수 있습니다. 또한, 장비는 이미지와 분석 결과를 저장할 수 있으며, 강력한 데이터 마이닝 (mining) 및 기타 형태의 분석을 가능하게 합니다. 이 시스템에는 TENCOR 특허를받은 통합 에어 베어링 (Air Bearing) 기술이 적용되어 낮은 입자 수와 매우 안정적인 샘플 단계를 보장합니다. 이렇게 하면 오버레이 및 CD 측정의 동적 범위가 넓어집니다. 또한 고해상도, 자동 측면 및 수직 CD 수정 프로그램을 통해 가장 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. Flexus 2320 은 수동 로봇 처리 (manual robotic handling) 및 완전 자동화 로봇 시스템 (fully automated robotic system) 을 포함한 다양한 샘플 처리 솔루션을 지원하여 효율적이고 정확한 웨이퍼 정렬 작업을 지원합니다. 이 기계는 완전히 자동화되었으며 다양한 테스트/측정 시스템을 위한 인터페이스 (interface) 를 갖추고 있어 다양한 구성과 완벽한 통합 운영 솔루션을 제공합니다. 전반적으로 KLA/TENCOR Flexus 2320은 안정적이고 정확한 결과, 고해상도 이미징, 자동 처리 솔루션을 제공하는 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴입니다. 이 고급 자산은 하이엔드 리소그래피 (lithography) 프로세스를 위한 완벽한 선택으로, 효율적이고 안정적인 결함 식별, CD 측정, 오버레이 분석 등이 가능합니다.