판매용 중고 KLA / TENCOR F5x #9315380

KLA/TENCOR F5x는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다양한 이미징 및 검사 기능을 제공하는 LFoV (field-of-view) 를 갖춘 빔 기반 광학 현미경이 특징입니다. 시스템을 사용하여 결함 및 기타 소규모 피쳐를 신속하게 측정할 수 있으며, 웨이퍼의 전기적 (electrical) 및/또는 열 특성 (thermal properties) 을 테스트할 수 있습니다. 이 장치는 오브젝티브 렌즈, 빔 스플리터, 뷰 파인더, 광다이오드 배열 등 다양한 광학 구성 요소를 사용합니다. 이러한 요소와 고급 소프트웨어 알고리즘을 결합함으로써, KLA F5x는 최대 200 나노미터 해상도의 고정밀 스캔을 수행 할 수 있습니다. 또한 입자, 곡물, 기타 유기 및 무기 기능을 몇 "나노미터 '크기로 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 임계 치수, 오버레이 정렬, 결함 검사, 입자 수, 결합 측정 등 다양한 도량형 매개변수를 평가하는 데 적합합니다. 빠른 스캐닝을 위해 조정 가능한 속도, 가속 및 진동이있는 동력 단계 (motorized stage) 가 포함됩니다. 소프트웨어 인터페이스는 사용자 친화적이며, 포괄적인 측정을 빠르고 쉽게 수행할 수 있습니다. TENCOR F 5 X에는 이미지 기반 자동 초점, 현장 심도 제어 등 다양한 최첨단 기능이 통합되어 있습니다. 이러한 기능은 결함 검사 (Defect Inspection) 및 기타 분석의 속도와 정확도를 향상시키기 위해 설계되었습니다. 또한 패턴 일치 기술과 통합되어 신속하게 기능을 인식할 수 있습니다. TENCOR F5x 는 탁월한 이미징 기능과 분석 기능 외에도 뛰어난 안정성을 제공합니다. '견고한' 설계를 통해 엄격한 산업 환경을 견딜 수 있으며, 자동화된 유지 보수/조정 프로세스를 통해 다운타임을 최소화하고 성능을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로 F5x는 고급 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 도량형 (Metrology) 기능이 필요한 모든 반도체 업계에 적합한 제품입니다. 견고한 디자인과 폭넓은 기능으로 인해 시중에서 가장 뛰어난 성능, 신뢰성 있는 시스템 중 하나입니다 (영문). 매우 정밀하고 안정적인 성능을 갖춘 KLA/TENCOR F 5 X 는 모든 테스트 및 도량형 요구 사항에 적합한 솔루션입니다.