판매용 중고 KLA / TENCOR F5x #9270868

KLA/TENCOR F5x는 반도체 생산을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 광학 이미징 (Optical Imaging) 과 검사 (Inspection) 기술을 사용하여 생산 공정을 최적화하면서 모든 웨이퍼에 균일성을 보장합니다. 이 시스템은 자동화된 웨이퍼 리프터 (wafer lifter) 를 사용하여 이미징 (imaging) 과 분석 챔버 (analysis chamber) 간에 웨이퍼를 전송합니다. 이 장치에는 2 개의 고해상도 카메라가 포함되어 있으며, 하나는 이미징 용으로, 하나는 자동 검사 용으로 배치되어 있습니다. 이미징 카메라는 최대 30nm 해상도의 웨이퍼 (wafer) 에서 데이터를 캡처하여 정확하고 빠른 데이터 수집을 지원합니다. 그런 다음이 데이터는 독점 알고리즘을 사용하여 분석하여 웨이퍼의 정교한 2D 이미지를 만듭니다. 검사 카메라는 또한 고해상도 광학 (optic) 을 사용하여 결함 데이터를 캡처합니다. 이 데이터는 자동으로 분석, 보고되어 검사 결과를 쉽게 해석할 수 있습니다. KLA F5x는 브라이트필드 (brightfield), 다크필드 (darkfield), 형광 (fluorescence), 횡단면 이미징 (cross section imaging) 과 같은 고급 스캔 기술을 사용하여 다양한 파장에 걸쳐 고해상도 이미지를 생성합니다. 그런 다음 고급 알고리즘을 사용하여 이러한 이미지를 분석하여 웨이퍼 내의 결함, 비정규성 (nonuniformity) 및 기타 특성을 감지합니다. 이 데이터는 wafer 수율, 디바이스 성능, 결함 등과 같은 품질 지표를 생성하는 데 사용됩니다. 이 기계에는 인시트 (in-situ) 샘플 온도 및 환경 제어 도구 (environment control tool) 가 장착되어 있는데, 이 도구는 오염 수준을 모니터링하고 환경에 미치는 영향을 줄이는 데 사용될 수 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '결과 에 영향 을 줄 수 있는 온도 와 기압 의 변동 을 제한 함 으로써 달성 된다. 또한 TENCOR F 5 X에는 프로세스 속도와 정확도를 높이도록 설계된 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 자산 운영성에 대한 직접 연결, 자동 웨이퍼 상태 업데이트, 이미지 등록, 통합 프로덕션 모델 등이 포함됩니다. 이 모든 기능을 결합하면 KLA F 5 X가 고속, 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형이 필요한 반도체 제조업체에 이상적인 선택이됩니다.