판매용 중고 KLA / TENCOR F5x #9243619
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ID: 9243619
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
Film thickness measurement system, 12"
FOUP: (2) TDK TAS300
YASUKAWA Robot
PC System
Hard Disk Drive (HDD) missing
2001 vintage.
KLA/TENCOR F5x는 반도체 장치 제작에서 품질 보증을 위해 사용되는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 매우 정확하고 반복 가능한 다양한 웨이퍼 특성 (wafer properties) 을 측정하도록 설계되었습니다. KLA F5x 는 정교한 CCD 카메라 시스템 (Camera System) 을 갖추고 있어 테스트 웨이퍼 (Wafer) 의 지형을 정확하고 반복적으로 측정할 수 있으며, 전체 장애 분석 및 결함 밀도 애플리케이션이 포함되어 있습니다. 공정 측정 (process measurement) 을 정확하게 제어하여 반도체 (semiconductor) 장치의 최고 품질 표준을 보장합니다. TENCOR F 5 X에는 검사 및 도량형 기능으로 구성된 다양한 이미징 기술이 포함되어 있습니다. 특히, CCD 카메라 유닛은 614 개의 다른 세그먼트에서 웨이퍼 이미지를 캡처하며, 각 세그먼트는 스펙트럼 광도계를 사용하여 상세한 광광 산란 특성을 추출합니다. 그 뒤에는 일련의 자동 테스트 (예: 임계 치수 (CD) 및 결함 밀도 측정, 다이 투 다이 결함 평가) 가 있습니다. CCD 카메라 머신과 함께 F5x는 통합 광학 프로파일로미터 (profilometer) 를 갖추고 있으며 3D 지형 정보 및 실시간 단면 이미징을 제공합니다. 또한 자동 결함 위치 및 분류, 장애 변속기 전자 현미경 (TEM) 오버레이, 추가 분석을위한 결함 격리 (Defect isolation) 등 전체 장애 분석 기능이 포함되어 있습니다. 마지막으로, F 5 X 는 포괄적인 데이터 분석 툴을 제공하여 Wafer Testing 및 Metrology 애플리케이션의 데이터를 빠르고 안정적으로 해석, 익스포트, 적용하여 프로세스 제어를 최적화할 수 있습니다. 여기에는 다양한 통계 알고리즘에 대한 액세스가 포함되며, 무작위 (non-random) 추세 및 패턴을 모니터링할 수 있습니다. 요약하면, KLA/TENCOR F 5 X는 반도체 장치 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 고도의 고급 도구입니다. 이 제품은 지형, 장애 분석, 결함 밀도를 측정, 평가할 수 있는 자동화된 플랫폼을 제공하며, 프로세스 최적화를 지원하는 데이터 분석 도구 (data analysis tools) 도 갖추고 있습니다. TENCOR F5x (TENCOR F5x) 는 다양한 기능을 통해 반도체 장치 생산의 최고 품질 표준을 보장하는 데 큰 기여를 합니다.
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