판매용 중고 KLA / TENCOR F5x #9236720

KLA / TENCOR F5x
ID: 9236720
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Film thickness measurement system, 12" 2003 vintage.
KLA/TENCOR F5x (KLA/TENCOR F5x) 는 고급 기술을 활용하여 반도체 웨이퍼 테스트 및 점검을위한 포괄적 인 솔루션을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA F5x 에는 프로세스, 수율, 자동화, 고급 장애 분석 등에 대한 Wafer 수준 테스트를 지원하는 자동 Wafer 검사 툴이 장착되어 있습니다. 텐코 F 5 X (TENCOR F 5 X) 는 웨이퍼 표면을 조명하기위한 LED 어레이, 소음 최적화에 대한 신호 반사 신호를 캡처하는 통합 광학 탐지 시스템, 고정밀 모션 스테이지 등 여러 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 이미지 데이터. 또한 TENCOR F5x는 DIC (Digital Image Correlation) 를 사용하며 전체 SLS (Silicon Level Unit) 기술 또는 SLS 9352 플랫폼에서 사용 가능하여 이미지 기능을 측정하고 결함을 식별할 수 있습니다. F5x는 패턴화 (patterned) 및 베어 웨이퍼 (bare wafer) 와 오버레이 검사 (overlay inspection) 및 도량형 분석 (metrology analysis) 과 같은 고급 프로세스 단계를 모두 검사할 수 있습니다. 또한, KLA/TENCOR F 5 X에는 입자와 입자의 모양 매개 변수를 빠르고 정확하게 감지하고 정량화 할 수있는 빠른 세그먼트 알고리즘이 장착되어 있습니다. KLA F 5 X (KLA F 5 X) 는 다양한 플랫폼으로, 작업과 설정을 조정하여 다양한 결함을 관찰할 수 있습니다. 또한 이미지 분석 (Image analysis), 대비 감지 (Contrast Detection) 및 측정 (Measurement) 의 세 단계로 처리되는 자동 웨이퍼 결함 처리량을 활용할 수 있습니다. 고급 기능에는 기존의 마스크 결함 및 입자 결함 외에도 트랜지스터 게이트, MOS 캡, 콘택트 비아 (Contact Vias) 를 검사하는 기능이 포함됩니다. 또한 F 5 X 는 빠른 로드 (load) 와 언로드 시간 (unload time) 뿐 아니라 단계 간의 웨이퍼 이동과 위치를 간소화하는 능동형 전송 머신 (active transport machine) 으로 설계되었습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 사용자 친화적 인 워크플로우 프로그래밍 (workflow programming) 을 통해 사용자는 이 도구를 정확하게 제어하고 애플리케이션의 특정 요구에 맞게 구성할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR F5x는 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위한 포괄적인 솔루션을 제공하여 빠르고 정확한 결과를 보장합니다. 첨단 기술 및 기능의 정교한 배열을 통해 KLA F5x 는 다양한 검사/결함 감지 요구 사항에 대한 최적의 선택이 됩니다.
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