판매용 중고 KLA / TENCOR F5x #293587509

KLA / TENCOR F5x
ID: 293587509
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Film thickness measurement system, 12" 2004 vintage.
KLA/TENCOR F5x (KLA/TENCOR F5x) 는 웨이퍼 기판 테스트 및 표면 결함 수준 측정에서 높은 수준의 정확성과 속도를 달성하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 첨단 기술인 이 제품은 첨단 광학 (optic) 과 다중 스펙트럼 이미징 (multispectral imaging) 기술을 사용하여 테스트 중인 표면의 상세한 이미지를 만들어 웨이퍼 결함의 식별 및 정량화를 가능하게 합니다. 이 시스템은 앞면과 뒷면 모두에서 웨이퍼를 스캔하고, 다른 각도로 이미지를 캡처하고, 정밀도가 높은 미세 구조의 높이 프로파일 (height profile), 크기 (size), 위치 (position) 를 측정할 수 있습니다. KLA F5x (CLA F5x) 는 또한 표면 재료에서 다양한 수준의 대비를 감지할 수 있으며, 반사 표면을 검사 할 수 있습니다. 이 장치는 자동 평탄도 알고리즘 (automated flatness algorithm) 을 자랑하여 원자 수준까지 정확성을 낮추고, 최첨단 반도체 애플리케이션에 필요한 고급 도량형을 수행 할 수 있습니다. 여기에는 램프 및 결함 특성, 테이퍼 및 패턴 화 된 표면 검사, 마스킹을위한 결함 자세가 포함됩니다. TENCOR F 5 X 기계의 광학 도량형에는 수백 개의 통계 변수를 사용하여 기판 뒷면, 측면 및 상단 표면에서 표면 결함을 측정하고 감지하는 CCD 이미징이 포함됩니다. 이로써 기능 검사· 검출, 생산속도 향상 등 개발 속도가 빨라질 수 있다. & # 160; & # 160; F 5 X는 또한 샘플을 결함, 양호, 중간 또는 나쁜 웨이퍼 등 다양한 범주로 매핑 및 분류하는 기능을 가지고 있습니다. KLA/TENCOR F 5 X 도구는 사용하기 쉽고 연구원, 제품 개발자, 생산 엔지니어 모두에게 이상적인 기능을 갖추고 있습니다. 독립형 자산으로 사용하거나, 공장 자동화와 통합될 수 있습니다. KLA F 5 X 모델의 유연성을 통해 사용자는 특정 요구 사항 (예: 결함 수준별 정렬, 마스크 생성, 각 제품의 민감도 설정) 을 충족하도록 구성할 수 있습니다. 전반적으로, TENCOR F5x 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 정확도로 표면을 검사하고 측정하기위한 신뢰할 수 있고, 정확하며, 매우 효율적인 도구입니다. 고급 광학, 이미징 기술, 자동화된 알고리즘을 통해 F5x 시스템은 표면 결함을 신속하게 감지하고 정량화하고, 평탄도를 원자 수준으로 측정하고, 테스트되는 표면의 상세한 이미지를 만들 수 있습니다.
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