판매용 중고 KLA / TENCOR F5 #9214704

KLA/TENCOR F5는 반도체 장치의 생산 및 개발을 위해 설계된 원자력 현미경 기반 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 높은 처리량 테스트와 다양한 Wafer Fabric 및 Finish 의 특성화를위한 강력한 플랫폼을 제공합니다. 이 제품은 두께, 서피스 지형, 그레인 크기, 확산 등과 같은 웨이퍼 피쳐에 대한 고해상도, 반복 가능 및 비접촉 측정을 제공합니다. 이 장치의 통합 소프트웨어 기능은 자동 측정 분석, 포괄적인 데이터 관리, 시각화 (visualization) 기능을 제공합니다. KLA F5 시스템은 통합 플랫폼 하드웨어, AFM 센서 및 제어 소프트웨어를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 통합 하드웨어는 AFM 헤드, XY 스캐닝 스테이지 및 정확한 z 높이 센싱으로 구성됩니다. 이 도구의 고급 AFM 감각 기능으로 투명, 불투명 한 표면을 스캔할 수 있으며, 높은 정확도로 복잡한 고해상도의 웨이퍼 (wafer) 기능 이미지를 제공합니다. XY 스캐닝 (XY scanning) 단계를 통해 자산은 넓은 웨이퍼 영역을 빠르게 트래버스하는 반면, z 높이 센싱은 AFM 헤드를 정확하게 배치하여 데이터를 캡처합니다. 이 모델의 통합 소프트웨어 제어 프로그램은 포괄적인 자동화 및 데이터 관리 기능을 제공합니다. 이 소프트웨어를 통해 사용자는 복잡한 테스트를 손쉽게 정의하고, 고도로 재현이 가능한 데이터를 자동으로 수집하고, 대규모 데이터 세트를 관리하여 강력한 비교와 통계 분석 (statistical analysis) 을 수행할 수 있습니다. 또한 테스트 설계 최적화, 데이터 평가, 결과 보고 등을 위한 강력한 시각화 툴을 제공합니다. TENCOR F5 장비는 photoresist patterning, dielectric oxide etching 및 diffusion과 같은 반도체 웨이퍼 직물 및 프로세스를 분석하는 데 적합합니다. 또한 리소그래피, 필름 증착, 마스크 정렬 등의 제조 공정 단계를 모니터링할 수 있습니다. 이를 통해 프로세스 평가 및 결함 분석에 이상적인 솔루션이 됩니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 (High-Resolution Imaging) 기능과 반복 가능한 데이터 획득 기능을 제공하여 웨이퍼에서 결함을 안정적으로 감지하고 정량화하고 프로세스 제어를 최적화할 수 있습니다. 자동화된 데이터 획득 및 분석 (Automated Data Acquisition and Analysis) 기능을 사용하여 결함을 신속하게 파악하고 특성화하고 프로세스 변경이나 설계 수정의 영향을 분석할 수 있습니다.