판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS10V #293651565

KLA / TENCOR Candela CS10V
ID: 293651565
Optical surface analyzer.
KLA/TENCOR Candela CS10V는 마이크로 및 나노 스케일 수준에서 안정적인 측정을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최신 고정밀도 광학, 레이저, 탐지기, 이미지 처리 기술을 활용하여 웨이퍼, 칩의 두께, 지형 등의 기능을 정확하게 측정합니다. 이 시스템에는 정확한 샘플 포지셔닝 및 자동 비접촉 정렬을 위해 3 축, 나노 미터 스케일, 전동 스테이지가 장착되어 있습니다. 또한 멀티채널 Optic, 가변 속도 스캐닝, 다양한 데이터 수집/분석 기능을 갖춘 높은 처리량을 제공합니다. 고속 이미지 처리 (high-speed image processing) 알고리즘은 결함을 신속하게 탐지하고 스캔할 수 있는 반면, 특허받은 레이저 정렬 테크놀지 (technolgy) 는 모든 샘플 피쳐의 정확한 이미징을 보장합니다. 또한, 소프트웨어는 최첨단 통계 방식과 기계 학습 알고리즘을 사용하여 항복 예측 (yield predition), 결함 매핑 (defect mapping), 프로세스 특성 (process characterization) 과 같은 데이터 기반 프로세스를 구현합니다. CS10V 에 의해 수집된 데이터는 장애/신뢰성 추세를 조사하는 데에도 사용될 수 있으며, 따라서 제조 프로세스 (Manufacturing Process) 의 사전 예방적 문제 해결 및 유지 보수 (Maintenance) 를 가능하게 합니다. 분석 결과에 기반한 보고서 생성 자동화 (Automated Report Generation) 는 수작업을 최소화하면서 대규모 데이터 분석을 수행할 수 있는 툴로 머신을 분리합니다. 이 도구는 확장 수율 진단 (extended yields diagnostics) 및 텍스처 매핑 (texture mapping) 기능과 함께 사용할 수 있으므로 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 다용도 도구입니다.
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