판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS10R #9372904

KLA/TENCOR Candela CS10R은 정밀 웨이퍼 테스트, 도량형 및 특성에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체 생산 라인에서 공구 및 테이프 프로세스, 높이 제어, 폼 측정, 결함 분석을 갖춘 프로세스 엔지니어를 지원하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 매핑, 결함 감지, 입자 분석 등 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 시력 검사기, 광학 현미경, 반도체 웨이퍼의 결함 및 입자를 감지하는 웨이퍼 카메라 도구 (wafer camera tool) 가 포함됩니다. 시각 자산 (vision asset) 은 가장 작은 결함까지도 신속하게 감지하고 분류하는 고속, 고정밀 분석을 가능하게 합니다. 광학 현미경은 샘플의 직접 이미징을 지원하므로 웨이퍼 (wafer) 의 고해상도 뷰를 사용할 수 있습니다. 이를 통해 표면 지형과 구조 기능을 효과적으로 감지 할 수 있습니다. 마지막으로 웨이퍼 (wafer) 카메라는 전체 웨이퍼 표면의 광시야각 촬영을 통해 결함 감지 및 분석에 고품질 (High-Quality) 이미지를 사용할 수 있습니다. 이 모델은 분석용 최첨단 소프트웨어와 통합되어 실시간 프로세스 모니터링, 자동화된 결함 분류, 데이터 분석 등을 제공합니다. 이를 통해 프로세스 엔지니어는 프로세스 문제를 신속하게 감지하고 잠재적인 문제를 정확히 파악할 수 있으며, 이를 통해 수율 (Yield) 및 디바이스 성능 향상을 위해 필요한 조정 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 다양한 자동 처리 프로세스를 제공합니다. 여기에는 웨이퍼 (wafer) 의 측정을 추적하고 잠재적 결함을 매핑할 수있는 자동 웨이퍼 매핑 시스템 (automatic wafer mapping system) 과 로봇 암을 사용하여 웨이퍼를 허용하는 자동 웨이퍼 전송 장치 (automated wafer transfer unit) 가 포함됩니다. KLA Candela CS10R은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 강력한 기능과 자동화 조합을 제공합니다. 자동화된 처리/매핑 프로세스를 비롯하여 빠르고 정확한 결함 감지/분석 기능을 제공합니다. 이를 통해 공학자들이 반도체 생산 라인의 문제를 파악하고 해결함으로써, 장치 성능과 생산량이 향상됩니다 (영문).