판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS10 #9389847

KLA / TENCOR Candela CS10
ID: 9389847
Surface inspection system.
KLA/TENCOR Candela CS10은 나노 스케일 (nanoscale) 수준에서 웨이퍼 표면과 특성에 대한 완전한 측정 및 테스트를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 (Optic) 과 이미징 (Imaging) 기술을 탑재하여 웨이퍼 표면 (Wafer Surface) 과 물리적 매개변수 (Physical Parameter) 의 정확하고 정확한 특성을 제공합니다. 통합 탐지기 및 신호 프로세서는 나노 스케일 (nanoscale) 수준에서 웨이퍼 서피스의 고해상도 측정을 제공합니다. KLA CANDELA CS-10은 비접촉 측정에 레이저 간섭법, 산란법, 병렬 위상 편이 간섭법 및 광학 모듈을 사용합니다. "레이저 '빛 의 광선 은" 샘플' 표면 으로 향하고 반사 된 "스펙트럼 '은" 웨이퍼' 특성 을 평가 하는 데 사용 된다. 또한, 이 장치는 3D 비접촉 서피스 프로파일로메트리를 통합하여 웨이퍼 지형의 정확한 결정 및 표면의 오버행, 버링, 공백 등의 중요한 매개변수를 결정합니다. TENCOR CANDELA CS 10에는 이중 헤드 기울기 및 회전 스테이지가 장착되어 있어 정확한 웨이퍼 처리 및 탐색이 가능합니다. 이것 은 매우 빠른 측정 을 할 수 있으며, 기계 는 넓은 지역 을 신속 하고 정확 하게 조사 할 수 있게 해 준다. 그렇다. 또한 내장 라미네이션 및 오븐 컨트롤러는 웨이퍼 연마 및 프로세스 최적화를 허용합니다. CANDELA CS 10에 포함된 소프트웨어 툴을 사용하면 손쉽게 시각화, 결과 보고, 프로세스 관리 자동화 등을 수행할 수 있습니다. 에셋은 데이터 로깅 및 커브 피팅을 자동으로 수행할 수 있으며, 정확한 분석, 비교, 보고 기능을 제공합니다. 또한 유연한 데이터 조작 기능을 제공하여 사용자 정의 분석을 허용합니다. Candela CS10은 뛰어난 성능과 다양한 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 광 구성 요소, 이미징 기술, 정밀 자동화, 종합적인 소프트웨어 기능을 갖춘 이 모델은 웨이퍼 (Wafer) 의 표면 및 물리적 특성에 대한 완벽하고 정확한 특성을 제공합니다. 이 철저한 특성화는 안정적인 분석, 비교, 프로세스 최적화를 가능하게 하며, 따라서 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형을위한 귀중한 도구입니다.
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