판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS10 #9226815

KLA/TENCOR Candela CS10은 고급 센서 기술을 사용하여 웨이퍼를 측정하고 특성화하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 정밀 도량형 측정을위한 다중 센서 도량형 단계 (multi-sensor, metrology stage) 와 함께 고감도로 빠르고 정확한 결함 특성을 제공하는 통합 검사 시스템이 있습니다. 이 장치는 또한 고급 반도체 검사 알고리즘을 사용하여 생성 된 높은 정확도 다이 투 다이 결함 맵을 가지고 있습니다. 직관적이고 사용자 친화적 인 설계로, 이 머신은 비용 효율적인 처리량을 통해 뛰어난 웨이퍼 성능을 제공하여 반도체 제조에 적합합니다 (영문). CS10 도구는 웨이퍼 테스트를위한 고급 기술을 제공합니다. 특허를 받은 멀티 센서 기술 (Multi-Sensor Technology) 이 장착되어 있어 TE: VISION 센서와 기계식 스캐닝 기술을 결합하여 높은 정확도의 결함 맵을 만듭니다. 이 방법을 사용하면 고해상도 이미지를 제공하면서 평면 (planar) 및 평면이 아닌 (non-planar) 결함을 모두 식별할 수 있습니다. CS10에는 또한 HPI (High Precision Imaging) 기능이 포함되어 있으며 다이 투 다이 및 다이 투 게이트 회로에 대한 정확한 측정이 가능합니다. KLA CANDELA CS-10 자산에는 웨이퍼 데이터 획득, 분석 및 다이 정렬을 처리하기위한 정교한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 모델은 3D 검사, 결함 특성, 부품 간 분석 (part-to-part analysis), 수익률 분석 등 고객의 요구에 맞게 선택할 수 있는 다양한 소프트웨어 모듈을 활용합니다. 이 소프트웨어는 유연한 데이터 관리와 사용이 간편한 그래픽 분석 도구 (Graphical Analysis Tools) 를 제공하여 사용자가 자신의 프로세스에 대한 귀중한 통찰력을 얻을 수 있도록 지원합니다. 이 장비에는 리소그래피 에지 검사, 라인 에지 거칠기 측정, 패턴 인식 알고리즘과 같은 고급 기능도 포함됩니다. 이러한 도구는 결함 감지 및 도량형 작업에 대한 보다 포괄적인 접근 방식을 제공합니다. 또한 소프트웨어를 사용하여 웨이퍼 레벨 성능 평가를 위한 정확한 프로파일을 생성할 수 있습니다. 안정적인 결과를 얻기 위해 CS10 시스템은 자동화된 유지 관리 및 조정 기능으로 설계되었습니다. 가동 중지 시간을 피하기 위해 장치의 척 (chucks) 과 단계를 빠르고 원격으로 보정 할 수 있습니다. 자동 시스템 (Automated Machine) 은 현장 상태 유지 관리 기능도 제공하여 원격 진단 및 문제 해결을 지원합니다. 결론적으로 TENCOR CANDELA CS 10은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 이 도구의 고급적이고 직관적인 기능은 안정적이고 정확한 결과를 제공하므로 반도체 제조 (semiconductor manufacturing) 에 이상적인 선택입니다. 다양한 소프트웨어 옵션과 자동화된 유지 관리/조정 기능을 갖춘 CS10 은 생산성을 극대화하고 웨이퍼 (wafer) 성능을 최적화할 수 있도록 설계되었습니다.