판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS10 #9179263

KLA/TENCOR Candela CS10은 임계 치수 (CD) 및 오버레이와 같은 측정을 포함하여 고정도 웨이퍼 도량형에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. CS10은 칸델라 (Candela) 시리즈 도구의 일부이며, 다양한 프로젝트에 대해 광범위한 자동 검사 기능을 제공합니다. 여기에는 주요 결함 위치 검토, 장애 분석, 프로세스 모니터링, 부품 간 검증 등이 포함됩니다. 140nm 및 90nm 설계 규칙에 적합하며, 최대 55nm의 추출 기능이 있습니다. CS10의 고급 웨이퍼 처리 메커니즘은 고온 웨이퍼 (최대 섭씨 500도) 및 다양한 웨이퍼 직경 (200mm ~ 9 인치) 을 쉽게 사용할 수 있습니다. 고속 레이저 간섭계는 이전 시스템에 비해 유효 측정 속도가 4 배 증가하여 정확한 도량형을 보장합니다. CS10은 뛰어난 웨이퍼 처리량과 데이터 정확도를 모두 자랑합니다. 강력하고 신뢰할 수있는 검출기가 특징이며, 총 측정 면적은 약 2,000 평방 밀리미터입니다. 고속에서는 초당 200 개의 측정값을 제공합니다. CS10에는 확장 측정 장 (extended measuring field), 방사선 냉각 방사선 광학 (radiation-cooled radiometric optics), 속도 및 정확도에 맞게 최적화된 모터 (motor) 와 같은 다양한 옵토 기계적 기능이 장착되어 있습니다. 이미지 기반 에지 감지 알고리즘은 고급 웨이퍼 측정을 위해 에지 (edge) 및 스텝 높이 (step height) 를 정확하게 결정할 수 있습니다. KLA (Trace Software Suite) 에는 데이터 입수를 용이하게 하고 광학 시스템을 손쉽게 처리할 수 있도록 하는 Trace (추적) 소프트웨어 제품군과 모든 경험 수준의 사용자에 대한 작업을 단순화하는 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 포함되어 있습니다. 이러한 기능을 결합하여 CS10을 웨이퍼 도량형에 이상적인 선택으로 만듭니다.