판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS10 #293816146
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KLA/TENCOR Candela CS10은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 그것 은 여러 가지 반도체 제조 공정 에 "웨이퍼 '질 을 신뢰 할 수 있도록 정확 한 도량형 을 제공 하도록 설계 되었다. 이 시스템은 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소의 고유한 조합을 사용하여 웨이퍼 너비, 두께, 변위, 서피스 마무리, 기타 속성을 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 장치에는 광학 헤드 (optical head) 와 강력한 광학 현미경 (optical microscope) 이 있어 단일 스캔으로 여러 매개변수를 측정합니다. 광학 헤드는 렌즈, 필터, 광학 부품, 조명원으로 구성되어 고해상도 이미징 및 정확한 반복 가능한 측정을 제공합니다. 또한 고속 스캔 컨트롤러 (High-Speed Scan Controller) 가 포함되어 최대 10 ° m 해상도로 값과 위치를 정확하게 측정할 수 있습니다. KLA CANDELA CS-10에는 스캐닝 된 각 웨이퍼를 모니터링하기 위해 자동 품질 제어 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 기계의 광학 헤드 (optical head) 에 의해 생성된 스펙트럼 정보를 분석하여 비정상적인 수준의 서피스 피쳐를 감지할 수 있습니다. 또한 레이어 대 레이어 제어를 위해 웨이퍼 두께를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 도구에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 터치스크린 디스플레이 (touchscreen display) 가 장착되어 있어 에셋의 작동을 단순화할 수 있습니다. 이 사용자 친화적인 인터페이스는 소프트 키 (soft key), 드래그 앤 드롭 (drag and drop) 기능 및 핫 키 명령을 결합하여 테스트 프로세스를 단순화하고 신속하게 수행합니다. 또한 각 웨이퍼 (wafer) 의 라이브 뷰 이미지를 통해 시각적 피드백을 제공하여 운영자가 웨이퍼 상태를 신속하게 평가할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR CANDELA CS 10은 강력하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 하드웨어/소프트웨어 구성요소의 독보적인 조합을 활용하여 여러 반도체 제조 프로세스에 대한 웨이퍼 (wafer) 품질을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장비는 높은 정확도와 반복성 (repeatibility) 으로 여러 특성을 동시에 스캔해야 하는 모든 반도체 생산 환경에 적합합니다.
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