판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS10 #293809709
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KLA/TENCOR Candela CS10은 IC 제작을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. CS10 시스템은 캔델라 CS42 (Candela CS42) 장치의 검증된 탁상 아키텍처를 기반으로 하며, 제조업체에 최고의 도량형 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 입증 된 타원법 기술을 사용하여 CS10은 집적 회로 (IC) 웨이퍼의 테스트 및 검증을 위해 정확한 웨이퍼 반사율 측정을 보장합니다. 이 기계는 웨이퍼 반사율 교정, 웨이퍼 정의, 테스트, 검증 등 다양한 응용 프로그램에 대한 표면 분석 솔루션을 제공합니다. 웨이퍼 반사율 (Wafer reflectance) 은 CS10의 고급 광 프로파일 탐지기 (Optical Profile Detector) 및 최적화 알고리즘을 사용하여 실시간으로 모니터링하고 제어하므로 웨이퍼 인증이 최고 정확도로 향상됩니다. 고정밀 옵틱은 IC 웨이퍼에서 가장 작은 WSF (Wafer-Specific Features) 를 측정할 때 최대 정확도를 보장합니다. 이 도구는 측정 챔버 (measurement chamber) 에 웨이퍼를 자동으로 변환하고 로드하여 사용 편의성과 연산자 관련 오류 (operator-related error) 를 줄입니다. CS10 (CS10) 은 또한 웨이퍼 표면의 광각 뷰를 특징으로하며, 이는 광섬유에 의해 탐지 챔버로 전달됩니다. 이를 통해 기술자가 안정성 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있는 대규모 뷰 (field of view) 를 제공합니다. CS10은 필름 두께를 측정하기 위해 근적외선 (NIR) 광원을 사용하며 절대 정확도를 위해 교정됩니다. 이 데이터는 자산의 고해상도 LCD 터치 스크린 (LCD touch screen) 에 표시되어 웨이퍼 표면의 시각적 그림이 분명합니다. 또한 CS10 에는 공통 도량형 (metrology) 작업을 자동화할 수 있는 프로그래밍 가능한 사용자 인터페이스가 장착되어 있으며, 여러 해 동안 운영될 수 있습니다. OPC-AEC와 같은 고급 통신 프로토콜을 사용하면 CS10을 기존 제조 정보 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 모델에는 고급 모션 컨트롤 엔진 (Motion Control Engine) 이 장착되어 있어 웨이퍼 로딩 및 측정이 용이하며, 전체 프로세스의 정확도와 속도가 더욱 빨라집니다. KLA CANDELA CS-10은 안정적이고 정확한 도량형 장비로, 사용자가 집적 회로 웨이퍼를 빠르고 정확하게 테스트하고 검증할 수 있습니다. 입증 된 타원법 기술 및 특수 광학 프로파일링을 사용하여 CS10은 정확한 웨이퍼 반사율 측정을 보장합니다. 고급 통신 프로토콜과 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 CS10은 기존 제조 시스템에 쉽게 통합할 수 있으며, 웨이퍼 (wafer) 검증을 위한 중요한 도구입니다.
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