판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS10 #293806333

KLA/TENCOR Candela CS10은 반도체 제조, MEMS, 광학 및 마이크로 일렉트로닉스와 같은 산업 응용 분야를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 향상된 효율성, 정확성, 신뢰성과 더불어 고급 도량형/검사 기능을 제공합니다. KLA CANDELA CS-10 시스템은 직경이 최대 300mm인 웨이퍼를 검사하고 특성화할 수 있습니다. 공간 및 시간적으로 균일하지 않은 픽셀화 (pixelation) 와 2 개의 고해상도 (high-resolution) 카메라를 갖춘 강력한 광학 엔진을 사용하여 세부적인 폭이 증가하는 웨이퍼를 분석 할 수 있습니다. TENCOR CANDELA CS 10에는 센서, 이미징, 분석, 검사, 도량형 및 제어 보드의 6 가지 내부 하위 시스템이 포함됩니다. 센서 서브시스템 (sensor subsystem) 은 웨이퍼 표면의 결함을 감지하는 특수 패턴 인식 (pattern recognition) 알고리즘을 작동시켜 결함에 대한 정확한 실시간 분석을 가능하게 합니다. 이미징 서브시스템은 고화질 CCD (고화질 CCD) 카메라를 기반으로 하며, 추가 검사를 위해 웨이퍼 이미지를 얻을 수 있습니다. 분석 서브시스템 (analysis subsystem) 은 와퍼에 대한 결함 구성을 글로벌 관점과 로컬 관점 모두에서 심층 분석 (deep-structure analysis) 합니다. 검사 서브시스템은 웨이퍼 (wafer) 에 존재하는 결함을 완전히 특성화함으로써 제품의 품질을 보장합니다. 또한 웨이퍼의 전체 형상, 3D 지형 및 3D 릴리프를 수집합니다. 도량형 (metrology) 하위 시스템은 치수와 서피스 지형 측면에서 웨이퍼의 정확한 측정을 도입합니다. 제어 보드는 위의 모든 모듈을 결합하여 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 도량형 (metrology) 과정을 지시합니다. 이 장치의 강력한 조회 (lookdown) 기능을 통해 빠르고 정확한 운영/프로세스 평가와 프로세스 제어가 가능합니다. CANDELA CS-10 의 통합 소프트웨어에는 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스), 회수 가능한 측정 레시피 등 다양한 사용자 친화적 기능이 포함되어 있습니다. 따라서 다른 시스템에 비해 테스트 및 도량형 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. TENCOR CANDELA CS-10은 현대 반도체 제조에서 강력한 도구이며, 최고 수준의 결과를 제공합니다. 선명하고 정확한 이미징, 빠른 결함 분류, 정확한 웨이퍼 측정 등을 제공합니다. 첨단 도량형 (advanced metrology) 과 검사 기술 (inspection technologies) 의 통합은 비교할 수없는 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다.