판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS10 #293637902
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KLA/TENCOR Candela CS10은 반도체 어플리케이션에 탁월한 정확성과 높은 처리량을 제공하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 최대 300mm 의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있으며, 데이터 분석 및 보고 자동화, 동시 연락 및 비접촉 (non-contact) 측정 기능을 제공합니다. 이 장치는 자동 자동 초점 및 파장 교정 기계가있는 고해상도 광학 현미경을 특징으로하며, 사용자는 결정 결함을 검사하고, 전체 두께 변화를 측정하고, 지형을 통해 결정할 수 있습니다. 이 도구의 4 포트, 이중 헤드 서피스 프로파일러는 중간 레이어, 높은 종횡비, 좁은 via-hole을 캡처 할 수 있습니다. 또한 에셋에는 2 개의 입자 센서, 2 개의 컬러 3D 매핑 센서 및 2 개의 산란 계량 기기가 포함되어 있으며, 사용자가 표면 마무리, 입자 분쟁 및 라인 에지 거칠기를 빠르고 정확하게 측정하고 분석 할 수 있습니다. 이 모델은 구성 능력이 뛰어나 특정 어플리케이션 및 고객 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다 (영문). 또한 통합 자동 장비 식별, 특허를 획득한 노즐 클리너, 24/7 모니터링 기능 등 다양한 자동화 기능이 포함되어 있습니다. 더욱이, 이 시스템은 현대 석판 (lithographic) 프로세스에서 발견되는 많은 비선형 효과를 정확하게 특성화 할 수있는 다양한 고급 알고리즘을 지원합니다. 따라서 사용자는 자신의 웨이퍼가 사양 (spec) 내에 있으며 요구 사항을 일관되게 충족할 수 있습니다. 정교한 디자인 덕분에 KLA CANDELA CS-10은 다른 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템에 비해 많은 이점을 제공합니다. 워퍼 (Wafer) 속성에서 가장 작은 변형을 측정하고 분석 할 수있는 매우 정확합니다. 또한 높은 처리량을 제공하여 빠르고 안정적인 웨이퍼 특성화가 가능합니다. 또한, 이 장치는 구성 능력이 뛰어나며, 많은 고급/자동 (advanced/automated) 기능을 포함하여 사용자가 테스트/도량형 시스템을 최대한 활용할 수 있도록 합니다.
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