판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS10 #293626641

KLA/TENCOR Candela CS10은 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 제조업체가 결함을 감지하고, 장치의 전기적 특성을 측정하고, 보다 잘 이해하기 위한 데이터 (data) 를 제공하여 제품의 수율을 개선하도록 설계되었습니다. CS10 은 자동화되고 정밀한 wafer tester 제품군을 사용하여 최대 300mm 의 다양한 wafer 크기를 지원합니다. 마이크로스테퍼 모터는 정확한 X, Y 및 Z 웨이퍼 위치를 제공하는 데 사용되며, 이는 정확한 임계 치수를 민감하게 측정 할 수 있습니다. 전동 선형 단계는 고정밀 제어 가능한 표면 샘플링을 제공합니다. CS10은 고해상도 광학 검사 센서와 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 웨이퍼에서 입자, 결함, 손상된 표면을 감지합니다. 다중 레이저 감지, 전하 주입 장치, 패치 테스트 기술 (patch testing technology) 은 장치의 레이어, 기판 및 방사형 거리에 대한 정확한 모니터링을 제공합니다. 또한 CS10은 자동화된 광 정렬 장치를 사용하여 사람의 오류를 제거하고 효율성을 높입니다. CS10은 웨이퍼 서피스, 모서리, 평면도 및 접촉 구멍에 대해 빠르고 정확한 웨이퍼 도량형 데이터를 제공합니다. 통합 수직 (vertical) 및 수평 (horizontal) 프로파일로메트리 센서는 장치의 임계 치수를 측정하고 3D로 부식 및 거친 정보를 수집합니다. 자동 레이저 표시는 또한 웨이퍼의 추적 가능성을 가능하게합니다. CS10 은 정교한 기능 분석 (feature analysis) 과 웨이퍼 매개변수 (wafer parameter) 를 포함한 광범위한 통합 도량형 솔루션을 지원합니다. 또한 사용자 정의 분광형 측정 및 신호 분석 (signal analysis) 을 지원하여 장치 제작 프로세스에 대한 보다 깊은 통찰력을 제공합니다. CS10 은 소프트웨어 툴과 데이터베이스를 포괄적으로 연결하여 운영 효율성을 높이고 데이터 신뢰성을 향상시킵니다 (영문). 이 시스템은 또한 LMIS와 같은 중앙 집중식 어플리케이션을 지원하며, 변화하는 요구를 충족할 수 있는 확장성과 유연성을 제공합니다. 결론적으로 KLA CANDELA CS-10은 고객에게 정확하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션을 제공합니다. 고급 기능, 높은 정밀도, 확장성을 갖춘 제조업체는 생산성 향상, 생산성 향상 등의 혜택을 누릴 수 있습니다.