판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS10 #293585673

KLA / TENCOR Candela CS10
ID: 293585673
웨이퍼 크기: 2"-4"
빈티지: 2009
Inspection system, 2"-4" 2009 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS10은 반도체 웨이퍼를 자동으로 반복 측정 할 수 있도록 설계된 프런트 엔드 반도체 도량형 장비입니다. 이 시스템은 크기, 두께, 서피스 평면도, 패턴, 배치 정확도와 같은 다양한 웨이퍼 매개변수를 측정할 수 있습니다. KLA CANDELA CS-10은 다양한 도량형 기능을 제공하는 모듈 식 디자인의 자동 도량형 장치입니다. 기계의 핵심 구성 요소는 전동 X-Y 스캔 단계, 광학 헤드, 광학 감지 도구 및 제어 소프트웨어로 구성됩니다. 전동식 "스테이지 '는 광학 머리 를 가로질러" 웨이퍼' 를 앞뒤로 움직 이고 광학 머리 는 "레이저 '를 사용 하여" 웨이퍼' 를 측정 한다. 이 측정은 제어 소프트웨어 (Control Software) 로 전송되며, 전용 알고리즘을 사용하여 데이터를 처리하고 정확한 결과를 생성합니다. TENCOR CANDELA CS 10은 0.1 nm까지 정확한 측정이 가능한 고정밀 광학 탐지 자산을 갖추고 있습니다. 이 모델에는 자동 교정 루틴 (automated calibration routine) 과 하이 다이내믹 레인지 (high dynamic range) 탐지기 (detector) 가 있습니다. TENCOR Candela CS10은 높은 수준의 안정성과 유연성을 제공합니다. 이 장비는 Gallium Arsenide, Silicon 및 Silicon-on-Insulator를 포함한 다양한 웨이퍼 재료에 대한 측정을 수행 할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 방향 (wafer orientation), 스팟 크기 (spot size), 스캔 속도 (scan speed) 등 다양한 측정 매개변수 설정을 제공하여 사용자가 특정 응용 프로그램에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장치는 또한 매우 직관적이고 사용자 친화적이며, 사용자가 빠르고 쉽게 설정을 구성, 조정할 수 있습니다. TENCOR CANDELA CS-10은 비용 효율적이고 신뢰할 수있는 기계로, 웨이퍼 테스트 및 도량형 프로세스의 정확성과 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 쉽게 설치, 구성, 운영할 수 있으며, 자동 교정 루틴을 통해 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 다양한 측정 매개변수 (measurement parameter) 를 통해 도구가 모든 웨이퍼 테스트 또는 도량형 프로세스에 이상적인 선택이 됩니다.
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