판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS10 #153587

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ID: 153587
Surface Inspection system 120/280 V, 60 Hz, 20 Amps Nitrogen: 4 SCFM @ 80PSI 1/2"FNPT Compressed Dry air: 6SCFM @ 80PSI 1/2"FNPT Vacuum: 2CFM at 28" HG 1/2"FNPT Cabinet plenum drain (Dry plenum) 2"FNPT Fume exhaust: 1400CFM @ .75" of water 2006 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS10은 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 매우 효율적인 방법으로 광범위한 웨이퍼 테스트 (wafer test) 및 도량형 검사를 수행 할 수있는 11 축, 공기 베어링 시스템입니다. 이 제품은 기능과 기능을 통해 로직 (logic) 과 메모리 (memory) 웨이퍼의 품질을 평가하는 데 이상적입니다. KLA CANDELA CS-10은 논리, 프로세서, 플래시 메모리, 동적 랜덤 액세스 메모리 (DRAM) 및 메모리 테스트 전극을 포함한 다양한 반도체 다이의 전기 성능을 측정하는 데 사용됩니다. 이 기계에는 1000mm 스테이지, 다중 축 동작 컨트롤러 및 다양한 고급 도량형 도구가 장착되어 있습니다. 높은 처리량, 빠른 스캔 속도 및 정밀 도량형을 제공합니다. 이 도구는 정확한 검출/보정 기능을 내장하여 자산의 성능을 지속적으로 모니터링합니다 (영문). TENCOR CANDELA CS 10은 비전 기반 웨이퍼 검사 및 반 도체 비전에서 최신 기술을 사용합니다. 이 모델에는 초고속 헤드 (fast-fast head), 다중 광 목표 (multiple optical objective) 및 웨이퍼의 결함을 감지, 추적 및 분석하는 다양한 비전 시스템 및 알고리즘이 있습니다. 또한, 장비의 비전 하위 시스템을 사용하면 개별 장치, 웨이퍼, 서브웨퍼의 성능을 평가할 수 있습니다. 이 시스템은 다이오드, 메모리 및 이산 트랜지스터 테스트 기능을 제공하며 전체 1,288 포인트 CV 특성을 제공합니다. 이렇게 하면 사용자가 통합 회로에 있는 모든 컴포넌트의 성능을 특성화하고 벤치마크할 수 있습니다. KLA CANDELA CS 10 은 광범위한 데이터 수집, 분석, 보고 기능을 제공하여, 사용자가 프로세스 개발 시간 및 비용 절감 효과를 평가할 수 있게 해 줍니다. 또한 도량형 기능을 통해 사용자는 셀 정렬을 0.5 마이크로 미터까지 측정 할 수 있습니다. 고급 도량형 도구 (advanced metrology tools) 와 독점 알고리즘을 통합하여 프로세스 품질, 지형, 결함 추세를 평가하고 평가할 수 있습니다. 고급 머신 (advanced machine) 에는 적응 동작 제어 (adaptive motion control) 가 있어 연산자가 조정 도구를 지정하고 특정 요구를 충족시키기 위해 새로운 동작 궤적을 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 자산은 온라인 진단, 고급 경보 및 오류 로깅 기능을 제공합니다. CANDELA CS 10은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 매우 정확하고 효율적인 도구입니다. 이 제품은 다양한 고급 (advanced) 기능을 제공하여 반도체 웨이퍼의 품질을 평가하는 데 이상적입니다. 이 모델은 다이오드 테스트 (diode testing) 에서 메모리 특성 (memory characterization) 에 이르기까지 탁월한 정확도를 제공하며 전반적인 프로세스 최적화에 상당한 이점을 제공합니다.
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