판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS1 #9399871

KLA Candela CS-1은 반도체 장치 제조를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 파퍼 및 집적 회로 (IC) 패키지에 대한 고해상도 광 검사를 제공하여 입자, 결함 및 기타 이상을 감지합니다. 자동 웨이퍼 처리 장치, 고급 조명 시스템 및 고속 이미지 캡처가 특징입니다. 이 기계에는 작은 입자, 결함 및 기타 이상을 감지하는 이미지 분석 및 분류 소프트웨어도 포함됩니다. Candela CS-1 (Candela CS-1) 은 모듈식 설계로, 특정 요구에 맞게 도구를 사용자 정의할 수 있습니다. 에셋에는 웨이퍼 이미징 및 결함 감지를 향상시키는 몇 가지 조명 옵션이 있습니다. 이러한 조명 시스템에는 밝기, 어두운 필드, 가장자리 조명, 편광 조명 및 자외선 조명이 포함됩니다. 자동 웨이퍼 처리 (Automated Wafer Handling) 모델은 높은 처리량을 제공하도록 설계되었으며 자동 웨이퍼 클리닝 및 웨이퍼 로딩이 가능합니다. 장비도 확장 가능하여 추가 현미경 모듈이 가능합니다. 이 시스템에는 가장 작은 크기의 고해상도 이미지를 제공하는 내장형 이미지 캡처 장치 (영상 캡처 장치) 가 포함되어 있습니다. 이미지 캡처 시스템에는 컬러 CCD 카메라와 5X ~ 200X의 다양한 배율이 포함되어 있습니다. 또한 이미지 캡처, 이미지 분석, 분류 등을 위한 이미지 캡처 소프트웨어도 포함되어 있습니다. TENCOR Candela CS-1은 자동 전압 및 전류 제어와 같은 웨이퍼 레벨 전기 테스트 및 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 이 도구는 리소그래피, 어셈블리, 다이빙, 연마 등 다양한 웨이퍼 프로세스와 호환되도록 설계되었습니다. 또한, 에셋에는 결함 감지 및 장치 특성화를 수행하는 데 사용할 수있는 테스트 모델이 포함됩니다. 이 장비는 정전기, 누출 전류, 저항, 고장 전압, 전류 드리프트와 같은 장치 중요 매개변수에 대한 자세한 정보를 제공할 수 있습니다. Candela CS-1 시스템은 통합 데이터 관리 장치도 제공합니다. 데이터 관리 시스템 (Data Management Machine) 은 강력한 보고 툴을 제공하여 디바이스 성능, 결함 감지, 프로세스 제어에 대한 보고서를 빠르고 쉽게 생성할 수 있습니다. 또한 기간별 데이터를 액세스하고 분석하여 제조 프로세스의 모든 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 KLA/TENCOR Candela CS-1 자산은 반도체 장치의 감지 및 특성화를위한 강력한 도구입니다. 이 모델은 고해상도 이미징, 광범위한 조명 시스템, 고급 이미지 캡처 기술, 프로세스 제어 기능, 종합적인 웨이퍼 (wafer) 검사 및 도량형 장비를 위한 통합 데이터 관리 기능을 제공합니다.