판매용 중고 KLA / TENCOR Candela CS1 #293585686

KLA / TENCOR Candela CS1
ID: 293585686
웨이퍼 크기: 2"
빈티지: 2007
Inspection system, 2" 2007 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS1은 집적 회로 (IC) 의 전기 특성 및 물리적 프로파일을 측정하기위한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 자체 포함 된 이중 뷰, X-Y-Z 스테이지, 웨이퍼 스핀 척 및 광학 현미경으로 구성됩니다. 상세한 차원 측정을 제공하고 다이 (die) 와 웨이퍼 (wafer) 에 집적 회로의 전기 특성을 특성화하도록 설계되었습니다. KLA Candela CS1의 강력한 이미징 및 조명 기능을 통해 IC의 전기 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 테스트 패드에서 다양한 범위의 진한 전류 (dark current) 와 전압 반응 (voltage responses) 과 누출 전류 (leakage current) 를 측정 할 수 있습니다. 또한, 기계는 특수 인터페이스의 도움으로 임피던스 (impedance), 커패시턴스 (capacitance), 인덕턴스 (inductance) 와 같은 다른 전기 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 큰 이미징 뷰 (Image Field of View) 를 제공하며 0.1um까지 이미지 피쳐를 측정 할 수 있습니다. TENCOR Candela CS1에는 통합 핸들과 측정 스테이션 (measurement station) 이 있어 빠른 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 자산을 보다 간편하고 효율적으로 운영할 수 있습니다. 또한이 모델에는 결함 및 장애 분석을위한 고화질 카메라 장비와 DK (Dielectric Constant) Stress, Variance, High Resolution Overlay 및 고급 통계 정량화 모듈과 같은 고급 기능이 장착되어 있습니다. Candela CS1은 또한 광범위한 기능 추출 및 분석 알고리즘을 제공합니다. 경사 (Bevels), 컷 (Cuts), 그루브 (Grooves) 및 클리어런스와 같은 피쳐는 시스템에서 빠르고 정확하게 측정합니다. 측정 데이터를 다양한 공통 데이터 형식으로 익스포트하여 데이터를 손쉽게 보고, 아카이빙할 수 있습니다 (영문). 이 장치는 강력한 지원 네트워크 (Supported Network) 를 통해 유지 보수 및 운영 요구 사항을 신속하게 충족할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR Candela CS1은 전기 매개변수 측정, 중급 차원 기능 및 칩 디자이너를위한 중요한 설계 정보 추출을위한 이상적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 정확하고, 빠르며, 종합적인 도량형 (metrology) 기능을 통해 고급 반도체 테스트 및 측정을 위한 이상적인 선택입니다.
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