판매용 중고 KLA / TENCOR Candela C2 #9277067

ID: 9277067
Defect inspection system.
KLA/TENCOR Candela C2는 하나의 통합 플랫폼에서 웨이퍼 스캔, 테스트 및 검사, 이미징 기능을 결합한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA Candela C2 시스템은 반도체 장치 제조를 위해 최적화 된 테스트 및 측정 솔루션을 제공합니다. TENCOR C2 장치는 반도체 장치 제조 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 고정밀 테스트 및 도량형 기능은 전기/광학 특성, 결함 밀도, 지형과 같은 웨이퍼 특성의 정확하고 안정적인 특성을 보장합니다. 자동 처리기, 자동 웨이퍼 프로버 (automated wafer prober), 광학 현미경 (optical microscope) 및 스캐닝 전자 현미경으로 구성되어 있으며, 모두 다양한 웨이퍼 응용 프로그램에서 고정밀 측정을 수행 할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 프로버 (Automated Wafer Prober) 는 최대 38 개의 웨이퍼를 순서대로 테스트 할 수 있으며 광범위한 프로브 기능을 제공합니다. TENCOR Candela C2 기계의 광학 현미경은 5 가지 이미징 모드를 갖춘 고해상도 이미징 기능을 제공하며, 이는 결함 매핑 및 프로세스 품질 제어에 사용할 수 있습니다. 통합 주사 전자 현미경은 0.1 미크론 해상도까지 웨이퍼를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 공구가 재료 구성을 분석 할 수있는 에너지 분산 X- 선 분광계 (EDS) 를 포함합니다. 마지막으로, 에셋은 간섭계 (interferometer), 산란계 (scatterometer) 및 표면 프로파일러 (surface profiler) 와 같은 도량형 플랫폼에 연결되어 장치 구조에 대한 보다 자세한 조사를 가능하게합니다. C2 는 '신뢰성' 과 '고성능', '변화하는 테스트 및 도량형 요건에 적응하는 능력' 으로 유명하다. 또한 바코드 웨이퍼 추적 (Bar-Code Wafer Tracking), 자동화된 데이터 처리 (Automated Data Handling), 원격 액세스 (Remote Access) 와 같은 여러 기능의 이점을 얻을 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR C2 모델은 인상적인 올인원 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로 웨이퍼 특성을 정확하고 안정적으로 특징 지을 수 있습니다. 통합된 설계, 고정밀도, 광범위한 테스트 및 도량형 (metrology) 기능을 통해 반도체 장치 제조업체에 이상적인 선택이 됩니다.
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