판매용 중고 KLA / TENCOR Candela 8600 #9311388
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KLA/TENCOR Candela 8600은 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 장치를 사용하여 고해상도, 고속 측정을 지원합니다. 프론트 사이드 (frontside) 및 백사이드 웨이퍼 (backside wafer) 표면에서 신속한 결함 감지 및 분류가 가능합니다. 이 기계는 다양한 웨이퍼 직경과 유형을 처리하기 위해 10 축, 컴퓨터 제어 웨이퍼 스테이지를 갖추고 있습니다. 최대 400 x 400 nm 해상도로 웨이퍼를 가로 질러 스캔 할 수있는 고해상도 카메라 (2.3 메가 픽셀) 가 장착되어 있습니다. 검사 속도는 느리게 (slow) 에서 초속 (ultra-fast) 으로 조정할 수 있으며 측정은 높은 정확도와 반복 성을 제공합니다. KLA Candela 8600은 4 차원 인라인 현미경, 유선 그리드 이미징 및 전자 빔 기술을 결합 할 수있는 KLA 초고속 C8T 이미징 프로세서로 구동됩니다. 이를 통해 도구는 놀라운 속도로 결함을 감지하고 분류 할 수 있습니다. C8T 프로세서에 의해 사용되는 고급 이미징 알고리즘은 또한 결함 높이 매핑, 2 차원 형태 분석, 전통적인 전기 테스트 등 다양한 자동/수동 분석 도구를 지원합니다. 이 자산은 종합적인 종합 웨이퍼 테스트 및 검사 솔루션을 제공하기 위해 다른 TENCOR 도량형 시스템과 인터페이스 할 수 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 운영자의 편리함과 능률적인 워크플로우를 구현할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 다양한 고급 옵틱 및 이미징 기능을 제공합니다. 여기에는 자동 결함 인식 알고리즘, 경량 심도 모니터 (light-field depth range monitor), 주어진 시간에 최대 60 기가 픽셀 이미지를 저장 및 분석하는 기능이 포함됩니다. 이 장비는 또한 인상적으로 큰 샘플 크기 커버리지 (최대 5 인치) 를 제공하여 반도체 웨이퍼, 태양 전지 및 기타 대형 기판을 검사하는 데 이상적입니다. 전반적으로 TENCOR Candela 8600 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 반도체 제조 검사 및 분석을위한 인상적인 도구입니다. 강력한 프로세서, 고급 옵틱 유닛 (Optic Unit) 및 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 가 장착되어 있으며, 매우 정확하고 반복 가능한 측정값을 인상적인 속도로 제공합니다.
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