판매용 중고 KLA / TENCOR Candela 6100 #293610124

KLA/TENCOR Candela 6100은 반도체 웨이퍼의 특성을 정확하게 측정하고 분석하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 광학 및 레이저 도량형 기술을 사용하여 확장 된 결함 지형, 대칭, 입자 크기 및 분포, 광학 반사율, 평면도, 오버레이 정확도 등을 포함한 다양한 주요 지표를 결정하는 매우 정교한 시스템입니다. 이 시스템은 두 가지 주요 구성 요소 (레이저 간섭계와 이미징 모듈) 로 구성됩니다. 레이저 간섭계는 레이저 광선 광선을 사용하여 나노 미터 이하의 정확도로 웨이퍼 지형을 측정합니다. 해상도가 6nm 미만인 상세한 결함 지형 이미지를 제공 할 수 있습니다. 이미징 모듈은 매우 민감한 CCD 카메라와 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 알고리즘을 조합하여 웨이퍼 서피스에서 이미지를 가져옵니다. 이 모듈을 사용하면 웨이퍼 (wafer) 의 공간 및 서피스 특성 (결함의 모양, 구조 등) 을 시각화할 수 있습니다. 결과의 정확성을 더욱 높이기 위해 KLA Candela 6100 은 강력한 데이터 분석 툴을 갖추고 있습니다. 레이저 간섭계 (Laser Interferometer) 와 이미징 모듈 (Imaging Module) 의 데이터를 현장에서 결합 및 분석하여 도량형 테스트 결과를 기록하는 종합적인 보고서를 작성할 수 있습니다. 이어서, 이 Report 를 사용하여 모든 이상을 파악하고 진단하고, 운영 프로세스를 필요에 따라 조정할 수 있습니다. TENCOR Candela 6100은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 효과적인 도구입니다. 하이테크 구성요소 (HT) 와 강력한 분석 기능을 통해 사용자가 웨이퍼 특성 (Wafer Properties) 과 패턴 (Pattern) 을 매우 정확하고 자세히 측정할 수 있습니다. 이렇게 하면 생성된 모든 웨이퍼가 사양에 그대로 유지되도록 하고, 가장 높은 생산 기준을 충족할 수 있습니다. 즉, 모든 웨이퍼가 사양에 부합하도록 합니다.