판매용 중고 KLA / TENCOR ATI I Surfscan #9292752

KLA/TENCOR ATI I Surfscan은 집적 회로 및 반도체 장치 제작에 사용되는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. "와퍼 '와" 나노' 구조 의 현미경적 결함 을 탐지 할 수 있는, 매우 정확 하고 신뢰 할 수 있는 자동 표면 결함 검사 "시스템 '이다. 이 장치는 표면 스캔과 도량형의 두 가지 기본 작업을 수행하도록 설계되었습니다. 서피스 스캔 (Surface scanning) 은 웨이퍼 서피스의 진단 스캔을 수행하여 웨이퍼의 서피스 결함을 식별합니다. 기계 에는 특수 한 "렌즈 '와 조명 도구 가 장착 되어 있어" 웨이퍼' 표면 에서 미세 한 결함 을 감지 할 수 있다. 이렇게 하면 상처, 표면 미립자 (surface particulates), 육안 으로 보이지 않는 기타 특징 등, 불완전성 을 식별 할 수 있다. 도량형 (Metrology) 은 웨이퍼 및 관련 장치 컴포넌트의 특성을 측정하는 프로세스입니다. KLA ATI I Surfscan을 사용하면 연산자는 폭, 길이, 편향, 기울기, 프로파일 및 두께를 포함한 다양한 도량형 매개 변수를 측정 할 수 있습니다. 에셋의 고급 기능을 통해 연산자는 전체 웨이퍼 및 3D 나노 구조를 비교할 수없는 정확도로 측정 할 수 있습니다. 이 모델은 이미징 (Imaging) 및 도량형 (Metrology) 기능 외에도 데이터 분석 및 보고 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 스캐닝 (Scanning) 및 도량형 프로세스의 데이터는 외부 데이터베이스에 전송되거나 장비에 수집되어 추가 분석을 할 수 있습니다. 이를 통해 운영자는 웨이퍼 상태와 품질에 대한 종합적인 보고서를 작성할 수 있습니다. 또한, 연산자는 사용자 정의 보고서와 차트를 생성하여 측정 데이터의 추세와 이상을 식별할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR ATI I Surfscan은 웨이퍼 제조 및 반도체 장치 응용 프로그램을위한 귀중한 도구입니다. 또한 운영 업체가 미세한 결함을 파악하고, 디바이스 속성을 측정하고, 데이터를 분석하여 보고 작업을 수행할 수 있습니다. 이 시스템을 활용하여 운영자는 프로세스를 최적화하여 효율성 및 품질 보장 (Quality Assurance) 을 높일 수 있습니다.